[实用新型]单层电容器加工过程的清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种单层电容器加工过程的清洗装置，包括NPP槽体以及分别与控制器相连的喷淋装置、鼓泡装置、快排装置和浸泡进水管。本实用新型采用的喷淋装置，喷淋效果好；采用的鼓泡装置，提高气泡强度均匀性，清洗效果好；采用的快排装置，有效的将附着在产品表面的药液异物等通过水洗的快速排放而带走；本实用新型实现了浸泡、溢流、喷淋、鼓泡、快排基础功能的组合清洗。

技术领域

本实用新型涉及单层电容器制造技术领域，尤其涉及一种单层电容器加工过程的清洗装置。

背景技术

单层电容属于半导体行业，产品表面的清洗尤为重要，普通的清洗方式根本无法达到此行业的清洁度要求，从而会出现绝缘异常、容值异常等问题，严重影响产品质量。

普通的清洗装置一般为浸泡、溢流或者喷淋，电容器加工过程中溅射、电镀、显影、去胶、刻蚀等工艺步骤后均需要对产品表面进行清洗，因单层电容产品轻薄短小，普通的清洗方式极易产生碎片和暗裂，严重影响产品合格率及产品质量。如何保证清洗效果和产品质量是每个单层产品工艺过程中需要面对的问题。

实用新型内容

本实用新型为解决上述问题，提供一种单层电容器加工过程的清洗装置。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：单层电容器加工过程的清洗装置，包括NPP槽体以及分别与控制器相连的喷淋装置、鼓泡装置、快排装置和浸泡进水管；

NPP槽体为顶部开口的空腔矩形体结构；

喷淋装置包括安装在NPP槽体顶部两侧的喷淋管，喷淋管的外壁间隔设置有若干个喷嘴，喷淋管的一端连接有喷淋摆动器，喷淋管的另一端连接有喷淋进水管；

鼓泡装置包括安装在连接支架顶部的鼓泡摆动器，连接支架的底部安装有中空鼓泡板，中空鼓泡板的四周与NPP槽体的内壁之间留有间隙，并且中空鼓泡板分NPP槽体的内腔为上腔和下腔，中空鼓泡板的上表面开设有若干个鼓泡孔，各个鼓泡孔均与中空鼓泡板的中空腔相连通，中空鼓泡板的四角连接有氮气进气管，并且氮气进气管与中空鼓泡板的中空腔相连通；

快排装置包括安装在NPP槽体底部的快排外壳，快排外壳内由下至上依次连接有气动阀门、快排托盘、快排密封圈，位于快排密封圈上方的NPP槽体的底面开设有快排口；

浸泡进水管安装在NPP槽体的底部，并且浸泡进水管与NPP槽体的下腔相连通。

进一步的，NPP槽体的顶部开设有溢流口。

进一步的，气动阀门与快排托盘可伸缩式连接。

进一步的，气动阀门底部的气动阀门进气管穿出快排外壳的底面。

进一步的，浸泡进水管为U型，并且浸泡进水管的两端分布在NPP槽体底部的对角线上。

本实用新型采用的喷淋装置，喷淋效果好；采用的鼓泡装置，提高气泡强度均匀性，清洗效果好；采用的快排装置，有效的将附着在产品表面的药液异物等通过水洗的快速排放而带走；本实用新型实现了浸泡、溢流、喷淋、鼓泡、快排基础功能的组合清洗。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图一；

图2是本实用新型结构示意图二；

图3是本实用新型结构示意图三。

其中：1-NPP槽体，2-喷淋装置，3-鼓泡装置，4-快排装置，5-溢流口，6-浸泡进水管，201-喷嘴，202-喷淋摆动器，203-喷淋管，204-喷淋进水管，301-鼓泡摆动器，302-连接支架，303-氮气进气管，304-中空鼓泡板，401-快排外壳，402-气动阀门，403-快排托盘，404-快排密封圈，405-气动阀门进气管。

具体实施方式