[实用新型]恒温供液装置有效
申请号: | 201920839409.0 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN210110719U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 朱小凡;赵黎;刘家桦;叶日铨 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G05D23/19;G05D27/02;F24H7/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 恒温 装置 | ||
1.一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置连接用液设备,向所述用液设备供给液体,并接收从所述用液设备回流的所述液体,所述恒温供液装置包括:
用于容纳所述液体的储液槽;
用于向所述用液设备供给所述液体的供液管路,一端连接所述储液槽,另一端连接所述用液设备;
用于接收从所述用液设备回流的所述液体的回液管路,一端连接所述储液槽,另一端连接所述用液设备;
用于加热所述供液管路中的所述液体的主加热器,设置于所述供液管路上;
用于将所述供液管路中的所述液体回流至所述储液槽的支流管路,一端连接所述储液槽,另一端连接至所述主加热器与所述用液设备之间的所述供液管路。
2.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置还包括用于加热所述回液管路中的所述液体的辅助加热器,设置于所述回液管路上。
3.根据权利要求2所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述辅助加热器为以恒温的循环水作为热源进行加热的水浴加热器。
4.根据权利要求3所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述水浴加热器包括:
用于流通所述循环水,并通过热交换对所述回液管路中的所述液体进行加热的加热管,设置于所述回液管路上;所述加热管的一端为进液端,另一端为出液端,所述循环水从所述加热管的进液端流入所述加热管,并从所述加热管的出液端流出;
用于向所述加热管的进液端供给所述循环水,并接收从所述加热管的出液端回流的所述循环水的热水源;
循环水供给管,连接所述加热管的进液端和所述热水源;
循环水回流管,连接所述加热管的出液端和所述热水源;
用于调节所述循环水流量的流量控制阀,设置于所述循环水供给管上。
5.根据权利要求2所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述辅助加热器为电加热器。
6.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置还包括用于调节所述支流管路内所述液体流量的支流控制阀,所述支流控制阀设置于所述支流管路上。
7.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置还包括:
用于量测所述储液槽内所述液体的温度的储液槽测温单元,设置于所述储液槽内;
用于根据所述储液槽内所述液体的温度控制所述主加热器工作的主加热器控制单元,连接所述储液槽测温单元和所述主加热器。
8.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置还包括用于将所述储液槽内的所述液体抽入所述供液管路的供液泵,所述供液泵设置于所述主加热器与所述储液槽之间的所述供液管路上。
9.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置还包括用于过滤所述液体的过滤器,将所述支流管路与所述供液管路的连接处定义为支流管路连接点,所述过滤器设置于所述主加热器与所述支流管路连接点之间的所述供液管路上。
10.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置的所述供液管路连接至所述用液设备中的多个用液模块;所述恒温供液装置的所述回液管路连接至所述用液设备中的多个所述用液模块。
11.根据权利要求10所述的一种恒温供液装置,其特征在于,所述恒温供液装置的所述供液管路连接至所述用液模块中的多个用液单元;所述恒温供液装置的所述回液管路连接至所述用液模块中的多个所述用液单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造