[实用新型]一种单晶炉籽晶冷却杆有效
| 申请号： | 201920842291.7 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN210506589U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 高佑君;王维林 | 申请（专利权）人： | 山西华晶恒基新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/20 |
| 代理公司： | 晋中市思锐知识产权代理事务所(普通合伙) 14122 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 034000 山西省忻*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 籽晶 冷却 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，其特征是：所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二位移传感器。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述外冷套管通过丝杆丝母装置带动竖直方向运动，所述丝杆由伺服电机驱动。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述内冷套管侧壁设置有滚珠槽，所述滚珠槽匹配设置有滚珠。
4.根据权利要求2所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述丝母安装于固定框架，所述固定框架套装于固定安装的导柱上。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述固定框架上安装有直线电机，所述直线电机输出轴带动所述内冷竖直方向运动。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述第一位移传感器固定安装于所述内冷套管顶部，第一位移传感器下端设置有深入内冷套管中的测杆，测杆匹配有与所述外冷套管相对固定的磁环。
7.根据权利要求4或5所述的一种单晶炉籽晶冷却杆，其特征是：所述第二位移传感器安装于所述固定框架上。
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