[实用新型]一种分子泵底盘

说明书

本实用新型涉及一种分子泵底盘，包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述隔水套的外侧上部设有螺旋水槽，所述主轴座套装在隔水套的外围，所述分水环设置在主轴座与隔水套之间，所述主轴座的内壁上竖直设有冷却槽，所述冷却槽的底部通过隔水套上竖直设置的开槽与上水槽连通，所述螺旋水槽的底部开口通过竖直设置在隔水套内的回水槽与出水口连通，本实用新型设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种分子泵底盘。

背景技术

分子泵是一种用于获得高真空及超高真空的真空泵。其原理是通过高速旋转的转子叶片击打气体分子，使气体分子逐级压缩，实现排气功能。分子泵底盘作为承载分子泵主轴，转子的重要零件，一方面要具有排气的接口，一方面要驱动转子高速旋转，是分子泵内一种复杂的零部件。

分子泵工作需要电机高速旋转，会产生大量的热，现有的分子泵底盘虽然也设有冷却系统，但是冷却的效果并不是很好，不能完全冷却各个部件。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种分子泵底盘，设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，水从进水口进入直接引入螺旋水槽的顶端，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述通孔的底部设有底部盖板，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述安装孔与底座中心的通孔相连通形成用于安装主轴以及电机定子的安装腔，所述隔水套的外侧上部设有螺旋水槽，所述主轴座套装在隔水套的外围，所述分水环设置在主轴座与隔水套之间用于隔离螺旋水槽，所述主轴座的内壁上竖直设有冷却槽，所述冷却槽的顶部与螺旋水槽的顶部开口连通，所述冷却槽的底部通过隔水套上竖直设置的开槽与上水槽连通，所述螺旋水槽的底部开口通过竖直设置在隔水套内的回水槽与出水口连通。

在优选的实施方案中，所述分水环的顶端与螺旋水槽顶部开口的底端齐平。

在优选的实施方案中，所述分水环的底部设有连通螺旋水槽和回水槽的穿孔。

在优选的实施方案中，所述底部盖板上设有油杯。

在优选的实施方案中，所述底座上设有进油孔，所述进油孔通过进油槽与油杯连通。

在优选的实施方案中，所述油杯的底部设有出油孔，所述出油孔上设有放油旋钮。

在优选的实施方案中，所述油杯由透明材料制成，所述底座的外侧设有与油杯位置相对应的油窗。

在优选的实施方案中，所述底座的顶部环绕主轴座设有一圈凹槽，所述凹槽与设置在底座外侧的排气口相连。

本实用新型的有益效果为：设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，水从进水口进入直接引入螺旋水槽的顶端，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

附图说明

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述的分子泵底盘的内部结构图；

图2是本实用新型实施例所述的主轴座的内部结构图；

图3是本实用新型实施例所述的隔水套的结构图；

图4是本实用新型实施例所述的分子泵底盘的外部结构图；