[实用新型]一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构有效
申请号: | 201920850072.3 | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN210262072U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 王志磊 | 申请(专利权)人: | 晶创铭盛电子科技(香河)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 杨玉廷 |
地址: | 065400 河北省廊坊市香河经济技术开发*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 隔离 单晶炉主炉室 副炉室 机构 | ||
本实用新型公开了一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构,包括主炉室、副炉室和翻板阀,主炉室安装在炉体的底座的上平面上,主炉室的顶部的盖体与翻板阀的底部环面密封连接,副炉室与翻板阀的顶部环面密封连接;还包括风机、送风管、出风管和阀门,在翻板阀的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口,且入风口和出风口呈对称状设置,入风口和出风口分别与送风管和出风管连接,在风机的出风口的内部安装有滤网,风机的出风口与送风管之间通过管道连接件固定,在送风管和出风管的管体上均安装有阀门。本实用新型可以在单晶炉工作完毕后,将翻板阀内的翻板上粘附的物料吹出翻板阀外,避免翻板上粘附大量物料影响翻板的正常翻转速度及幅度。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域,具体涉及一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。单晶炉上设有主炉室和副炉室,副炉室位于主炉室的上方,主炉室和副炉室之间通过翻板阀隔离开来,利用翻板阀传送物料,但是翻板阀在传送物料时,物料容易粘附在板体上,粘附的物料过多时会对翻板的效率速度造成影响,针对上述问题本申请提出了一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构。
根据本实用新型实施例提供的技术方案,一种用于隔离单晶炉主炉室与副炉室的隔离机构,包括主炉室、副炉室和翻板阀,所述主炉室安装在炉体的底座的上平面上,所述主炉室的顶部的盖体与翻板阀的底部环面密封连接,所述副炉室与翻板阀的顶部环面密封连接;还包括风机、送风管、出风管和阀门,在所述翻板阀的阀体的两侧分别开设有入风口和出风口,且所述入风口和出风口呈对称状设置,所述入风口和出风口分别与所述送风管和出风管连接,在所述风机的出风口的内部安装有滤网,所述风机的出风口与送风管之间通过管道连接件固定,在所述送风管和出风管的管体上均安装有所述阀门。
本实用新型中,在所述主炉室的盖体上设有观察窗口和直径控制窗口。
本实用新型中,所述主炉室与翻板阀之间、副炉室与翻板阀之间均为法兰式连接。
本实用新型中,所述送风管上的阀门安装在靠近所述入风口的一侧。
本实用新型中,所述入风口和出风口的开设位置对准所述翻板阀内的翻板的位置高度。
本实用新型中,在所述送风管和出风管的口端盖有封闭帽。
综上所述,本实用新型的有益效果:可以在单晶炉工作完毕后,将翻板阀内的翻板上粘附的物料吹出翻板阀外,避免翻板上粘附大量物料影响翻板的正常翻转速度及幅度。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型的正视结构示意图;
图2为本实用新型中翻板阀的正视结构示意图;
图3为本实用新型中翻板阀的俯视结构示意图;
图4为本申请中螺纹段的结构示意图。
图中标号:1.主炉室、2.副炉室、3.翻板阀、4.风机、5.送风管、6.出风管、7.阀门、8.滤网、9.封闭帽、10.螺纹段。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。
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