[实用新型]单晶炉有效
申请号: | 201920850442.3 | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN210262073U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 王志磊 | 申请(专利权)人: | 晶创铭盛电子科技(香河)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 杨玉廷 |
地址: | 065400 河北省廊坊市香河经济技术开发*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 | ||
本实用新型公开了单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体后端铰接有炉门,炉门上设置有滑槽和观察窗,所述滑槽内部设置有滑块,滑块下端与第一连接杆相连接,所述观察窗顶部设置有固定块,其固定块内壁设置有弹簧,且弹簧下端与移动块相连接,并且移动块一侧开设有螺纹孔,孔内连接有储水盒,所述第一连接杆一侧设置有第二观察镜,第一连接杆上方设置有第二连接杆,所述第二连接杆一侧设置有第一观察镜。该单晶炉通过在观察窗的一侧设置滑槽,使第一观察镜和第二观察镜可以在滑槽中上下移动位置,从而通过第一观察镜和第二观察镜的辅助在观察窗处对单晶炉主体内部工作情况进行观察,避免单晶炉主体内部光线刺眼、观察不清的现象出现。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉设备技术领域,具体为单晶炉。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备;单晶炉是由提拉头、副室、炉盖、炉筒、底座机架、电源以及电控柜等组合而成。
现有的单晶炉在工作时,工作人员需要通过观察窗观察单晶炉内部的情况,因单晶炉内设有加热装置,工作时会产生刺眼的亮光,从而在工作人员观察单晶炉内部情况时刺激到工作人员眼睛,导致观察不清楚,影响工作进度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供单晶炉,以解决上述背景技术中提出的工作人员观察单晶炉观察不清的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案,单晶炉,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体后端铰接有炉门,炉门上设置有滑槽和观察窗,所述滑槽内部设置有滑块,滑块下端与第一连接杆相连接,所述第一连接杆一侧设置有第二观察镜,第一连接杆上方设置有第二连接杆,所述第二连接杆一侧设置有第一观察镜,第二连接杆与第一连接杆为活动连接。
优选的,所述观察窗顶部设置有固定块,其固定块内壁设置有弹簧,且弹簧下端与移动块相连接,并且移动块一侧开设有螺纹孔,孔内连接有储水盒。
优选的,所述观察窗位于滑槽的右侧,且滑槽下方设置有隔热垫,并且隔热垫通过螺栓固定在炉门上。
优选的,所述储水盒与移动块螺纹连接,且移动块前端设置有海绵和刮片。
优选的,所述刮片位于海绵的上方,且海绵与移动块接触面开设有凹槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该单晶炉通过在观察窗的一侧设置滑槽,使第一观察镜和第二观察镜可以在滑槽中上下移动位置,从而通过第一观察镜和第二观察镜的辅助在观察窗处对单晶炉主体内部工作情况进行观察,避免单晶炉主体内部光线刺眼、观察不清的现象出现。
附图说明
图1为本实用新型单晶炉主视图;
图2为本实用新型单晶炉图1中A处放大结构示意图;
图3为本实用新型单晶炉第二观察镜与第一观察镜连接结构示意图;
图4为本实用新型单晶炉移动块左视图。
图中:1、单晶炉主体,2、固定块,3、弹簧,4、移动块,5、观察窗,6、炉门,7、储水盒,8、滑槽,9、第一观察镜,10、隔热垫,11、第一连接杆,12、第二连接杆,13、第二观察镜,14、刮片,15、海绵,16、滑块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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