[实用新型]一种小型高温加热台

说明书

本实用新型公开了一种小型高温加热台，包括真空炉、加热片、样品载台、控温热电偶及加热片安装机构，所述真空炉包括炉体上盖和炉体基座，所述炉体上盖和炉体基座都为薄壁腔结构，且所述炉体上盖和炉体基座通过铰链连接；所述加热片为氮化硅加热片，并通过加热片安装机构固定于所述炉体基座的腔体内，所述样品载台安装在所述氮化硅加热片发热区域，所述控温热电偶安装在样品载台上。本实用新型将整个加热台小型化，且升温迅速，加热效率高。

技术领域

本实用新型涉及高温加热技术，尤其涉及一种小型高温加热台。

背景技术

现有的高温实验炉主要采用电阻加热丝的方式加热，即电流通过加热电阻丝后被加热，由于炉内需要抽成真空状态，所以主要依靠产生的红外辐射对放入炉腔内的样品托上样品进行加热。该方式加热功率大但效率不高，大部分热量被冷却水带走。由于是靠辐射，加热速率慢，温度稳定周期长。而且由于使用了大量隔温绝缘材料，加热后会产生很多挥发物，会对样品产生一定的污染问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于针对现有技术中加热效率低和稳定周期长的缺陷，提供一种加热方式简单,高效稳定的小型高温加热台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

提供一种小型高温加热台，包括真空炉、加热片、样品载台、控温热电偶及加热片安装机构；

所述真空炉包括炉体上盖和炉体基座，所述炉体上盖和炉体基座都为薄壁腔结构，且所述炉体上盖和炉体基座通过铰链连接；

所述加热片为氮化硅加热片，并通过加热片安装机构固定于所述炉体基座的腔体内，所述样品载台安装在所述氮化硅加热片发热区域，所述控温热电偶安装在样品载台上。

接上述技术方案，所述炉体基座上设置有密封圈。

接上述技术方案，所述炉体基座侧壁安装有抽真空接口和真空航插接头。

接上述技术方案，所述加热片安装机构包括加热片安装座和加热片压片，所述加热片安装座固定于所述炉体基座上，所述加热片放置于加热片安装座的凹槽内并通过所述加热片压片压紧。

本实用新型产生的有益效果是：本实用新型的一种小型高温加热台利用氮化硅加热片与样品载台接触加热，将整个加热台小型化，且升温迅速，加热效率高。同时这个真空炉采用箱体结构，整个腔室内非常洁净，不会对样品造成污染。在设置相同测试温度点的情况下，实验时间缩短一半以上，且加热功率仅为原功率的1/3。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型实施例的小型高温加热台结构示意图；

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，本实用新型提供

提供一种小型高温加热台，包括真空炉1、加热片2、样品载台3、控温热电偶4及加热片安装机构，真空炉1包括炉体上盖11和炉体基座12，炉体上盖11和炉体基座12都为薄壁腔结构，且炉体上盖11和炉体基座12通过铰链13连接，结构简单，操作方便。

加热片2为氮化硅加热片，并通过加热片安装机构固定于炉体基座12的腔体内，样品载台3安装在氮化硅加热片发热区域，通过接触加热的方式，加热效率非常高，在设置相同测试温度点的情况下，实验时间缩短一半以上，且加热功率仅为原功率的1/3。

控温热电偶5安装在样品载台3上，可方便监测样品载台3温度。