[实用新型]一种镀膜片反射测试装置

权利要求书

1.一种镀膜片反射测试装置，其特征在于，包括测试台底座(1)、测试台面连接板(2)、被测物载物台(4)、准直器安装支架(8)、第一调节机构和第二调节机构，所述测试台面连接板(2)安装于所述测试台底座(1)上方，所述被测物载物台(4)安装于所述测试台面连接板(2)上，所述测试台面连接板(2)和所述被测物载物台(4)的相同位置处均开设有小孔，所述被测物载物台(4)的小孔内放置有被测镀膜片颗粒，所述准直器安装支架(8)安装于所述测试台面连接板(2)下方，所述准直器安装支架(8)上安装有准直器(9)，所述第一调节机构与所述测试台面连接板(2)机械连接，所述第二调节机构与所述准直器安装支架(8)机械连接，通过所述第一调节机构对所述测试台面连接板(2)进行调节，以及所述第二调节机构对所述准直器安装支架(8)进行调节，使得所述安装于所述准直器安装支架(8)上的所述准直器(9)位于所述测试台面连接板(2)的小孔正下方；

所述准直器(9)对接入的激光进行准直，准直后的激光通过小孔照射所述被测物载物台(4)上的被测镀膜片颗粒，所述准直器(9)接收经所述被测镀膜片颗粒反射回来的激光，通过反射光与入射光的比例得到所述被测镀膜片颗粒的反射特性。

2.根据权利要求1所述的镀膜片反射测试装置，其特征在于，所述第一调节机构为三维旋转轴微调架(5)，所述三维旋转轴微调架(5)的底部与所述测试台底座(1)固定，其顶部通过螺丝与所述测试台面连接板(2)固定，所述三维旋转轴微调架(5)用于对所述测试台面连接板(2)的XYZ轴方向进行调节。

3.根据权利要求1所述的镀膜片反射测试装置，其特征在于，所述第二调节机构为二维旋转轴微调架(6)，所述二维旋转轴微调架(6)的底部与所述测试台底座(1)固定，其背板通过螺丝与所述准直器安装支架(8)固定，所述二维旋转轴微调架(6)用于对所述准直器安装支架(8)的XY轴方向进行调节。

4.根据权利要求3所述的镀膜片反射测试装置，其特征在于，还包括支架座子(7)，通过所述支架座子(7)将所述二维旋转轴微调架(6)固定于所述测试台底座(1)上。

5.根据权利要求3所述的镀膜片反射测试装置，其特征在于，所述准直器(9)为双芯准直器，所述准直器(9)通过光纤接入外部激光器发射的激光。

6.根据权利要求1所述的镀膜片反射测试装置，其特征在于，还包括高精度平台(3)，所述高精度平台(3)和所述被测物载物台(4)通过螺丝依次固定安装于所述测试台面连接板(2)上。