[实用新型]一种膜片上下料机构

说明书

本实用新型公开了一种膜片上下料机构，包括底座、卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱动源和退料驱动均的自由端分别设置有垫板。其能够无缝衔接上下膜作业，而无需停机更换，效率高，稳定性好。

技术领域

本实用新型涉及上下料机构，具体涉及一种膜片上下料机构。

背景技术

半导体器件在生产作业过程中，通常需要将晶粒整齐的排列在膜片上，若干片膜片则会放置在卡匣中。一般设备在上下卡匣时，通常需要将设备停机，待更换新的卡匣后，才能继续进行作业。上下卡匣的过程占用过多时间，影响了生产作业的效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种膜片上下料机构，其能够无缝衔接上下膜作业，而无需停机更换，效率高，稳定性好。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种膜片上下料机构，包括底座、卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱动源和退料驱动均的自由端分别设置有位于卡匣板的开口的上方和卡匣板的开口处的垫板；所述上下膜单元包括设置在底座上的推杆驱动源，所述推杆驱动源的自由端设置有用于上膜或下膜的推杆。

作为优选的，所述卡匣架上设置有延伸板，所述延伸板上滑动设置有滑块，所述卡匣板设置在滑块上，所述滑块上设置有紧固件。

作为优选的，所述推杆驱动源的自由端设置有推杆支板，所述推杆支板上沿延伸板的方向开设有多个推杆槽，所述推杆插设在推杆槽内。

作为优选的，所述卡匣板上设置有卡匣板感应片，所述延伸板上设置有用于侦测卡匣板位置的卡匣板传感器。

作为优选的，所述退料平台的两边沿卡匣的移动方向设置有退料护栏。

作为优选的，所述退料护栏的末端设置有退料传感器。

作为优选的，所述卡匣架和卡匣板分别包括两条相互平行的竖板，所述卡匣架的两条竖板之间设置有用于加强其结构强度的背支板，所述卡匣架上设置有侧挡板，所述侧挡板位于卡匣架和卡匣板之间。

作为优选的，所述卡匣架的顶端设置有向内倾斜的导向面，所述卡匣板的顶端设置有导向板。

作为优选的，所述推杆驱动源的自由端设置有螺杆，所述底座上设置有与螺杆平行的推杆滑轨，所述推杆滑轨上滑动设置有推杆滑块，且所述推杆滑块与螺杆通过螺纹连接，所述推杆设置在推杆滑块上。

作为优选的，所述底座上设置有升降滑套，所述升降平台上设置有升降光杆，所述升降光杆滑动设置在升降滑套内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型使用上进下出的方式进行投料，上下膜完成的卡匣从最下方排出，不影响次下方的卡匣进行上下膜，且可一次性在次下方的卡匣上方堆垛多个卡匣，实现了持续性的连续上下膜功能，无需停机，大大提高了上下膜的效率。

2、本实用新型通过设置升降平台，能够使膜片始终在同一高度上进出卡匣，与其它工序衔接方便，稳定性好。