[实用新型]刻蚀设备有效
| 申请号： | 201920862026.5 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN209785874U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 潘磊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大气传送腔 刻蚀 刻蚀设备 气体加热装置 本实用新型 腔内 进气口 传送机械手臂 残余气体 低温固化 外界气体 水汽 蚀刻物 加热 传送 升高 容纳 污染 | ||
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：
大气传送腔，用于容纳被刻蚀物；
气体加热装置，设置在所述大气传送腔的进气口处，外界气体经所述气体加热装置加热后进入所述大气传送腔，以使所述大气传送腔的腔内温度升高；
传送机械手臂，设置在所述大气传送腔内，用于传送被蚀刻物。
2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述气体加热装置为恒温加热装置。
3.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括气体加速装置，所述气体加速装置设置在所述大气传送腔的进气口处，用于增大进入所述大气传送腔的气体的流速。
4.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，所述气体加速装置对应所述气体加热装置设置。
5.根据权利要求1～4任意一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括载台，所述载台侧面具有门框及位于所述门框内的升降门，所述升降门升降以使所述载台与所述大气传送腔连通或者隔离，所述门框朝向所述载台的表面覆盖有防腐蚀层。
6.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，所述门框的全部表面均覆盖防腐蚀层。
7.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，所述升降门背离所述载台的表面也覆盖有防腐蚀层。
8.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，所述升降门的全部表面均覆盖防腐蚀层。
9.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括气体过滤装置，所述气体过滤装置设置在所述大气传送腔的进气口处。
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