[实用新型]基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置

说明书

本实用新型公开了基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置，包括：包括：激光光源、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一平面平晶、第二平面平晶、半反半透镜、采集模块和电脑处理终端；所述激光光源、扩束镜、第一透镜、半反半透镜和第一平面平晶通过光线连接，所述采集模块与所述电脑处理终端电连接，所述半反半透镜与第一平面平晶之间设有检测场。本实用新型通过水平和竖直两个维度进行检测，得到待测气体的折射率梯度、密度梯度、密度分布以及温度分布，适用性更强，提高检测准确性，大大降低了检测工序。

技术领域

本实用新型涉及光电化微加工技术领域，更具体地说涉及基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置。

背景技术

传统测量空气折射率梯度的方法有阴影法、纹影法、干涉法等等。阴影法一般用于定性分析，不能定量分析，纹影法是根据光强的分布反映折射率梯度分布的一种方法，它需要测量接收屏上的对比度，相对耗时，而且准确率不高。采用普通的干涉法能提高测量的准确度，但在应用之中局限比较明显，往往测量环境多变，容易影响干涉效果。阴影法、纹影法和普通干涉法都限制在一维的分析或测量。

实用新型内容

本实用新型提供一种基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置，通过两个维度同时检测，提高检测精度。

本实用新型解决其技术问题的解决方案是：

一种基于二维剪切干涉测量待测气体参数的装置，包括：激光光源、扩束镜、第一透镜、第二透镜、第一平面平晶、第二平面平晶、半反半透镜、采集模块和电脑处理终端；

所述激光光源、扩束镜、第一透镜、半反半透镜和第一平面平晶通过光线连接，所述采集模块与所述电脑处理终端电连接，所述半反半透镜与第一平面平晶之间设有检测场；

所述第一平面平晶沿竖直方向设置，所述第一平面平晶与垂直地面方向形成第一倾角θ₁，所述第二平面平晶沿水平方向设置，所述第二平面平晶与水平地面方向形成第二倾角θ₂；

所述激光光源发出的光束依次通过扩束镜、第一透镜和半反半透镜后，射入检测场，光束经过检测场后射入第一平面平晶，光束经过第一平面平晶后出射光射向检测场，透过检测场的光束被半反半透镜反射到第二平面平晶，第二平面平晶的出射光透过第二透镜射入采集模块。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一平面平晶沿竖直方向设置，所述第一平面平晶与垂直地面方向形成第一倾角θ₁，其中0°＜θ₁≤1°。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第二平面平晶沿水平方向设置，所述第二平面平晶与水平地面方向形成第二倾角θ₂，其中0°＜θ₂≤15°。

作为上述技术方案的进一步改进，所述激光光源为He-Ne激光器。

作为上述技术方案的进一步改进，所述激光光源为二氧化碳激光器。

作为上述技术方案的进一步改进，所述采集模块为相机。

作为上述技术方案的进一步改进，所述第一透镜和第二透镜为准直透镜。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过水平和竖直两个维度进行检测，得到待测气体两个维度的折射率梯度、密度梯度以及温度分布，适用性更强，提高检测准确性，大大降低了检测工序。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。

图1是本实用新型的俯视结构示意图；