[实用新型]玻璃基板托盘有效
申请号: | 201920872939.5 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN210335563U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;廖民安;陈发伟;张旭;李庆文;王耀君 | 申请(专利权)人: | 东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 陈庆超 |
地址: | 050035 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 托盘 | ||
1.一种玻璃基板托盘,其特征在于,包括箱体(3)和多个沿周向分布在所述箱体(3)边缘的定位机构,所述箱体(3)的上表面设置有与其内部连通的透气孔(32),所述箱体(3)的内部可选择性地与高压气源或真空气路连通;
所述玻璃基板托盘具有定位位置和非定位位置,所述定位机构从所述箱体(3)边缘凸出于所述箱体(3)的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置,所述定位机构从所述箱体(3)的上表面收回,以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述定位机构包括摆臂(2)、销轴(4)和弹性件(8),所述摆臂(2)通过所述销轴(4)可转动地与所述箱体(3)的侧面相连,所述弹性件(8)具有使得所述摆臂(2)靠近所述箱体(3)侧面的回复力;
所述摆臂(2)翻转到与所述箱体(3)的侧面相贴合以从边缘凸出于所述箱体(3)的上表面以使所述玻璃基板托盘处于所述定位位置,所述摆臂(2)转动并脱离所述箱体(3)的侧面以从所述箱体(3)的上表面收回以使所述玻璃基板托盘处于所述非定位位置。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述玻璃基板托盘还包括支承座(1),所述箱体(3)上设置有顶面和侧面开放的安装槽,所述支承座(1)设置在所述安装槽内且所述销轴(4)可转动地设置于所述支承座(1),当所述玻璃基板托盘处于所述定位位置时,所述摆臂(2)与所述支承座(1)的侧面贴合,所述支承座(1)的侧面相对所述箱体(3)的侧面靠近于所述箱体(3)的中心。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述玻璃基板托盘还包括限位件(7),所述限位件(7)固定设置在所述摆臂(2)的下方以限制所述摆臂(2)的转动角度。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述限位件(7)为限位螺钉,所述限位螺钉与所述支承座(1)连接。
6.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述箱体(3)上开设有气管接头(31),该气管接头(31)可选择性地与所述高压气源或所述真空气路连通。
7.根据权利要求1所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述透气孔(32)的数量为多个且均匀分布在所述箱体(3)的上表面,所述箱体(3)内设置有多块横向筋板(9)和多块纵向筋板(10),所述多块横向筋板(9)和所述多块纵向筋板(10)呈十字交错布置,所述横向筋板(9)上设置有沿纵向延伸的第一通气道(91),所述纵向筋板(10)上开设有沿横向延伸的第二通气道(11),所述第一通气道(91)和所述第二通气道(11)分别与所述透气孔(32)连通。
8.根据权利要求7所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述箱体(3)包括底板(5)和周向封闭的框架,所述底板(5)与所述框架连接,所述横向筋板(9)和所述纵向筋板(10)固定在所述框架内。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述玻璃基板托盘还包括密封件(6),所述密封件(6)设置在所述底板(5)与所述框架之间。
10.根据权利要求8所述的玻璃基板托盘,其特征在于,所述玻璃基板托盘还包括多个紧固件,所述底板(5)通过所述紧固件与所述框架连接,所述横向筋板(9)和所述纵向筋板(10)通过所述紧固件与所述底板(5)连接。
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