[实用新型]一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置

说明书

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座，所述底座上端开设有放置槽，且放置槽的上方平行设有吸附板，所述吸附板内设有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安装有吸盘，所述吸盘与空腔连通，所述吸附板的上端平行设有移动板，所述移动板和吸附板之间通过电动伸缩杆连接。本实用新型通过在底座上方设置吸附板，并将吸附板可伸缩的安装在移动板上，同时利用制动盒内的电机和丝杆控制移动板的左右移动，使用过程中，采用吸附板将硅片吸附后移动到底座的放置槽内，该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入花篮内带来的效率低下问题，一次可放入多组，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，具体为一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。

而光刻机对硅片进行表面光刻时，需要将硅片从放入到花篮底座内，现有的一般采用人工手工放入，该种方式造成效率低下，且人工支出的费用大，提高了成本支出，因此，针对上述问题提出一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置，包括底座，所述底座上端开设有放置槽，且放置槽的上方平行设有吸附板，所述吸附板内设有空腔，且吸附板位于放置槽的表面安装有吸盘，所述吸盘与空腔连通，所述吸附板的上端平行设有移动板，所述移动板和吸附板之间通过电动伸缩杆连接，且吸附板的中间位置设有伸缩软管，所述移动板的一侧焊接有支撑杆，所述支撑杆连接在制动盒，以及制动盒安装在底座侧边。

进一步地，所述支撑杆并排设有两组，且支撑杆与移动板垂直设置。

进一步地，所述支撑杆之间设有抽风机，所述抽风机的输出端连接管道，所述管道的另一端贯穿移动板。

进一步地，所述管道与伸缩软管连通。

进一步地，所述制动盒内设有移动腔，以及移动腔内的一端安装有电机，所述电机的输出轴连接丝杆，且丝杆上螺纹连接有螺纹环，所述制动盒的上端面开设有连通移动腔的开口滑动槽，所述支撑杆穿过与螺纹环焊接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型通过在底座上方设置吸附板，并将吸附板可伸缩的安装在移动板上，同时利用制动盒内的电机和丝杆控制移动板的左右移动，使用过程中，采用吸附板将硅片吸附后移动到底座的放置槽内，该种方式改变了传统再用手工将硅片r放入12英寸的花篮内带来的效率低下问题，一次可放入多组，提高工作效率。

2、本实用新型通过在吸附板上述设置多组吸盘，并将吸附板连接吸盘的空腔与抽风机连接，使用时，将吸盘与硅片接触，然后在抽风机的作用下，将吸盘与硅片之间的空气抽走，两者之间产生吸附力，从而硅片吸起移动，该种方式不易损坏硅片的表面。

附图说明

图1为本实用新型一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的侧视结构示意图。

图3为本实用新型一种用于12寸设备的8寸开放式花篮底座装置的吸附板结构示意图。