[实用新型]一种炉管清洗装置

说明书

本实用新型涉及一种炉管清洗装置，包括：清洗槽，清洗槽的一端设有旋转启动部，清洗槽的另一端设有旋转被动部；旋转杆组，旋转杆组包括第一旋转杆和第二旋转杆，第一旋转杆和第二旋转杆的一端均与旋转启动部连接，第一旋转杆和第二旋转杆间留有间距；支撑部，支撑部有若干个，分别套设在第一旋转杆和第二旋转杆上，且支撑部的底端设置在清洗槽底端上；旋转套，旋转套分别固定套设在第一旋转杆和第二旋转杆上，旋转套与清洗槽底端间留有间距。通过旋转启动部和旋转杆组的相互配合，实现放置在第一旋转杆和第二旋转杆间的炉管的转动，从而实现对炉管的清洗，相较现有的人工清洗炉管，本炉管清洗装置清洗效率高，清洗效果好，节省人力物力。

技术领域

本实用新型涉及一种炉管清洗装置，尤其是涉及一种炉管清洗装置。

背景技术

炉管是用于晶片扩散，使用时需将装有晶片的石英舟一起放进炉管内，若炉管内不干净会影响晶片的TRR值、IR值等参数。因此，定期清洗炉管，保证炉管的清洁度，对晶片的电性有很大的帮助。现有的炉管清洗主要是通过人工隔一段时间手动转动炉管，这样清洗炉管方式清洗效率底，清洗效果差，而且存在安全隐患，造成人力的浪费。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种炉管清洗装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种炉管清洗装置，包括：

清洗槽，所述清洗槽的一端设有旋转启动部，所述清洗槽的另一端设有旋转被动部；

旋转杆组，所述旋转杆组包括第一旋转杆和第二旋转杆，所述第一旋转杆和第二旋转杆均设置在清洗槽内，且第一旋转杆和第二旋转杆的一端均与旋转启动部连接，所述第一旋转杆和第二旋转杆间留有间距；

支撑部，所述支撑部有若干个，分别套设在第一旋转杆和第二旋转杆上，且支撑部的底端设置在清洗槽底端上；

旋转套，所述旋转套分别固定套设在第一旋转杆和第二旋转杆上，所述旋转套与清洗槽底端间留有间距。

在本实用新型的一个较佳实施例中，旋转启动部包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮设置在第一旋转杆一端，所述第二齿轮设置在第二旋转杆一端，所述第三齿轮设置在第一齿轮和第二齿轮上端，且与第一齿轮和第二齿轮啮合。

在本实用新型的一个较佳实施例中，旋转被动部包括旋转盘和旋转轴，所述旋转轴设置在与旋转启动部相对的清洗槽一端处，所述旋转盘设置在旋转轴上且沿旋转轴旋转。

在本实用新型的一个较佳实施例中，第一旋转杆和第二旋转杆间的间距为10-30厘米。

在本实用新型的一个较佳实施例中，第三齿轮通过驱动轴连接驱动部。

本实用新型的有益效果是：采用上述结构后，通过旋转启动部和旋转杆组的相互配合，实现放置在第一旋转杆和第二旋转杆间的炉管的转动，从而实现对炉管的清洗，相较现有的人工清洗炉管，本炉管清洗装置清洗效率高，清洗效果好，节省人力物力。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型旋转启动部结构示意图；

图3是本实用新型旋转被动部结构示意图；

图4是本实用新型支撑部结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1至图4所示一种炉管清洗装置，包括：