[实用新型]检查单元以及检查系统

权利要求书

1.一种检查单元，其特征在于，包括：

连接体，所述连接体上设置有开孔；且所述连接体用于与自动测试设备相连，其中，所述自动测试设备用于对晶圆进行检测；

光源，所述光源设置于所述开孔内；

探针卡；所述探针卡与所述连接体相连，所述探针卡上设置有用于供光线穿过的透射部；

探针台，所述探针台上设置有用于容置晶圆的容置部，所述容置部在所述光线的传播方向上位于所述透射部的下游。

2.如权利要求1所述的检查单元，其特征在于，其还包括：配线板，所述连接体为弹簧针座，所述配线板与所述弹簧针座相对设置，所述配线板背对所述弹簧针座的一侧用于与所述自动测试设备相连。

3.如权利要求2所述的检查单元，其特征在于：所述弹簧针座背对所述配线板的一侧设置有所述探针卡，所述探针卡背对所述弹簧针座的一侧设置有所述探针台。

4.如权利要求1所述的检查单元，其特征在于：所述透射部为设置在所述探针卡上的通孔。

5.如权利要求1所述的检查单元，其特征在于：所述探针卡上设置有多个位于所述透射部一侧的探测单元，多个所述探测单元在水平面内沿第一方向并列排布，所述容置部能在水平面内相对于所述探针卡垂直于所述第一方向移动，以能对所述晶圆进行检测。

6.如权利要求5所述的检查单元，其特征在于：每个所述探测单元包括多个探针，多个所述探针沿周向排列，每个所述探针具有用于与所述晶圆相接触的连接端。

7.如权利要求6所述的检查单元，其特征在于：每个所述探针沿径向延伸，每个所述探针靠近所述透射部的一端弯折形成所述连接端。

8.如权利要求1所述的检查单元，其特征在于：所述光源通过导线与控制器相连，所述控制器用于对所述光源的照度进行调节。

9.如权利要求8所述的检查单元，其特征在于：所述连接体包括弹簧针座和配线板，所述配线板上设置有穿孔，所述导线穿设于所述穿孔内。

10.一种检查系统，其特征在于，其包括：

如权利要求1至9中任一项所述的检查单元；

自动测试设备；所述自动测试设备用于对晶圆进行检测；所述自动测试设备与所述连接体相连。