[实用新型]平整度检测装置

权利要求书

1.一种平整度检测装置，包括测试平台，所述测试平台用于承载待测物体，其特征在于，还包括：

真空吸附装置，所述真空吸附装置包括气压发生器及气压管道，所述气压管道一端与气压发生器相连，另一端伸入所述测试平台后与所述待测物体连接，以在测试时吸附所述待测物体；

检测器，在真空吸附装置吸附所述待测物体时，检测所述待测物体承受的吸附压力并发出所述吸附压力信息；

警报器，与所述检测器相连，以接收所述检测器发出的所述吸附压力信息，并在所述吸附压力小于预设吸附压力阈值时发出警报信息。

2.根据权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述平整度检测装置还包括比较器，所述比较器与所述检测器及所述警报器相连以接收所述检测器发出的所述吸附压力信息后与预设吸附压力阈值进行比较，并将所述比较结果发送给警报器；所述警报器接收所述比较结果并在所述吸附压力小于所述预设吸附压力阈值时发出警报信息。

3.根据权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述平整度检测装置还包括控制器，所述控制器与所述真空吸附装置相连以控制所述真空吸附装置处于吸附状态或解除吸附状态。

4.根据权利要求1所述的平整度检测装置，其特征在于，所述警报器为蜂鸣器或指示灯。

5.根据权利要求1～4任一项所述的平整度检测装置，其特征在于，所述测试平台设有多个承载区，所述真空吸附装置可单独吸附每个承载区上的待测物体，所述检测器可单独检测每个所述承载区上的待测物体的吸附压力并单独发出所述吸附压力信息，所述警报器接收每个所述承载区的所述吸附压力信息并在所述吸附压力小于预设吸附压力阈值时发出警报信息。

6.根据权利要求5所述的平整度检测装置，其特征在于，每个所述承载区的测试平台沿垂直于所述待测物体的方向设有通孔，所述气压管道一端与气压发生器相连，另一端伸入所述通孔后与所述待测物体相连以在进行测试时吸附所述待测物体。

7.根据权利要求6所述的平整度检测装置，其特征在于，所述气压管道包括总管道、多个子管道及控制阀，每个所述子管道一端通过所述控制阀与所述总管道相，另一端伸入所述通孔，所述控制阀控制所述子管道与所述总管道的连通与断开，以控制所述真空吸附装置对所述每个承载区上的所述待测物体的吸附与断开。

8.根据权利要求6所述的平整度检测装置，其特征在于，所述检测器设置在所述承载区的所述测试平台上并与所述通孔相连，或与所述气压管道相连。

9.根据权利要求5所述的平整度检测装置，其特征在于，所述警报器为多个，每个所述警报器接收对应每个所述承载区的所述吸附压力信息。