[实用新型]一种探针台喷墨标记枪

说明书

本实用新型属于半导体检测的技术领域，涉及一种探针台喷墨标记枪，其包括喷墨枪头、开设于喷墨枪头上的安装槽、设置于安装槽中的盛墨枪头，喷墨枪头上固定连接有安装块，安装槽的侧壁上开设有固定槽，安装块与固定槽滑动插接，固定槽的侧壁上开设有若干定位孔一，安装块上开设有与定位孔一滑动对应的定位孔二，定位孔一、定位孔二中插接有定位杆，定位杆背向定位孔一一端固定连接有端帽，端帽与喷墨枪头的侧壁上固定连接有若干拉紧弹簧，拉紧弹簧沿平行于定位杆的方向设置；本实用新型具有盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测的技术领域，尤其是涉及一种探针台喷墨标记枪。

背景技术

探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备， 主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能。探针卡是一种用于实现测试机与晶圆的电器连接的部件， 探针卡上的探针直接与晶圆上的锡垫或凸块接触，引出电信号，再配合测试机进行测量

目前，公告号为CN102637616的中国专利公开了一种晶圆检测装置及检测方法，它包括承片台，用于承载晶圆；晶圆检测单元，用于检测晶圆中的缺陷晶粒；喷墨单元，根据测试结果在晶圆中缺陷晶粒的表面喷涂上墨滴；墨滴调整单元，所述墨滴调整单元为金属基板、半导体基板或陶瓷基板，用于调整喷墨单元喷涂出的墨滴的尺寸，当喷涂在缺陷晶粒表面的墨滴尺寸不符合规格时，将喷墨单元在所述墨滴调整单元上喷涂墨滴，直到喷涂在所述墨滴调整单元表面的墨滴的尺寸调整到符合规格时，再将喷墨单元移回晶圆的上方或将晶圆移回喷墨单元的下方，使喷墨单元重新根据测试结果在晶圆中缺陷晶粒的表面喷涂上墨滴；墨滴检测单元，用于检测墨滴调整单元表面墨滴的尺寸是否符合规格。

参照图1，喷墨单元的主要结构为喷墨标记枪，喷墨标记枪包括驱动杆1、喷墨枪头2，喷墨枪头2上设置有安装槽3，安装槽3上设置有信号挤压杆4和盛墨枪头5，盛墨枪头5中设置有盛墨内腔，盛墨内腔中滑动连接有挤压板，盛墨枪头5背向信号挤压杆4一端贯通连接有喷墨针6。当喷墨枪头2需要喷墨标记时，信号挤压杆4接受到电信号，信号挤压杆4滑动挤压向盛墨枪头5中的挤压板，挤压板在滑动中对盛墨内腔中的墨水进行挤压，墨水由此从喷墨针6中流出。

在实际使用过程中，当盛墨枪头中的墨水用完时需要对盛墨枪头进行更换，但是常规的盛墨枪头与驱动杆是通过若干螺丝固定，这种固定方法会导致对盛墨枪头进行更换时，需要旋拧多个螺丝，并且由于喷墨枪头的体积较小，螺丝的体积也因此较小，这就导致了盛墨枪头的更换操作繁琐，影响盛墨枪头的更换效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种探针台喷墨标记枪，其具有盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率的效果。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种探针台喷墨标记枪，包括喷墨枪头、开设于喷墨枪头上的安装槽、设置于安装槽中的盛墨枪头，所述喷墨枪头上固定连接有安装块，所述安装槽的侧壁上开设有固定槽，所述安装块与固定槽滑动插接，所述固定槽的侧壁上开设有若干定位孔一，所述安装块上开设有与定位孔一滑动对应的定位孔二，所述定位孔一、定位孔二中插接有定位杆，所述定位杆背向定位孔一一端固定连接有端帽，所述端帽与喷墨枪头的侧壁上固定连接有若干拉紧弹簧，所述拉紧弹簧沿平行于定位杆的方向设置

通过采用上述技术方案，盛墨枪头安装时，拉动端帽，使定位杆滑动至定位孔二中，使安装块滑动插接于固定槽中使定位孔一与定位孔二滑动对齐，松动端帽，定位杆滑动插接于定位孔一、定位孔二中，从而使盛墨枪头固定在喷墨枪头上。当需要对盛墨枪头进行更换时，通过提拉端帽使定位杆滑动脱离定位孔二，从而使盛墨枪头脱离喷墨枪头，这种设置可以使盛墨枪头更换操作简单，有利于提高盛墨枪头更换效率。

本实用新型进一步设置为：所述端帽背向定位孔二的一端设置有拉板，所述拉板沿垂直于定位杆的方向设置，所述定位杆的端部均固定连接于拉板。