[实用新型]内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构有效
| 申请号： | 201920881152.5 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210237767U | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李峰;薛道荣;韩成明;李强;刘子毓 | 申请（专利权）人： | 河北道荣新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 054000 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 内腔式 磁控溅射 镀膜 装配式 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，其中：
所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；
所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；
所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。
2.根据权利要求1所述的内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：在连续镀膜室的一端连通有进管室，另一端连通有出管室，在进管室的外端以及在出管室的外端分别设有真空密封阀，使进管室、连续镀膜室以及出管室能够分别密封。
3.根据权利要求1所述的内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：所述磁铁是永磁铁或电磁铁，其按照相同磁极方向镶嵌在固定套管内壁的凹槽位置。
4.根据权利要求1所述的内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：相邻的靶材之间用挡板分隔开，挡板上开设有供镀膜管通过的穿孔。
5.根据权利要求1所述的内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：所述真空密封阀是光阑可变阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北道荣新能源科技有限公司，未经河北道荣新能源科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920881152.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车空调出风组件
- 下一篇：一种摄像机
- 同类专利
- 专利分类
