[实用新型]一种靶材背管喷涂设备的恒温系统有效

专利信息
申请号: 201920885922.3 申请日: 2019-06-13
公开(公告)号: CN209765355U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 敬正柏 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: G05D23/22 分类号: G05D23/22
代理公司: 11421 北京天盾知识产权代理有限公司 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 驱动支路 热交换 靶材 背管 循环液 发热 三相电源输入端 温度控制电路 本实用新型 温度传感器 支路 泵液装置 喷涂设备 媒介 电连接 发热管 温控器 泵液 控温 反应装置 恒温系统 加热循环 生产过程 实时监测 良品率 喷涂层 并联 导通 盛装
【说明书】:

实用新型涉及靶材背管喷涂设备技术领域,尤其是指一种靶材背管喷涂设备的恒温系统,其包括循环液容器、热交换反应装置、泵液装置和温度控制电路,循环液容器内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管,温度控制电路设置有三相电源输入端,三相电源输入端并联有泵液驱动支路、发热驱动支路和控温支路,泵液驱动支路电连接泵液装置,发热驱动支路电连接发热管,控温支路设置有温控器和温度传感器,温度传感器用于实时监测循环液容器内的循环热交换媒介的温度,以使温控器导通或切断发热驱动支路。本实用新型能使生产过程中靶材背管的温度趋近恒温,增强喷涂层和靶材背管的沾合力,提升良品率。

技术领域

本实用新型涉及靶材背管喷涂设备技术领域,尤其是涉及一种靶材背管喷涂设备的恒温系统。

背景技术

不锈钢管常作为旋转靶材的靶材背管,靶材背管经过喷砂和打底等处理后,进入等离子喷涂,在生产初期,需要先对靶材背管进行预热,以增强喷涂层和靶材背管的粘合性,同时在不同的生产阶段,需要保持靶材背管温度的一致性,减少靶材背管因热胀冷缩,同时也能减少内部应力聚集。

目前采用室温水循环对靶材背管进行冷却,由于室温水受到外界环境温度影响较大,温度不可控,冷却效果不理想,造成靶材背管过热膨胀而导致等离子喷涂的涂层开裂,靶材背管内部应力聚集,导致客户使用时靶材背管受热后开裂,存在安全隐患,因此有必要予以改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种靶材背管喷涂设备的恒温系统,能使生产过程中靶材背管的温度趋近恒温,增强喷涂层和靶材背管的沾合力,提升良品率。

为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:

一种靶材背管喷涂设备的恒温系统,包括:

循环液容器,循环液容器内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管;

热交换反应装置,用于对靶材背管进行预热;

泵液装置,用于将循环液容器内的循环热交换媒介泵入热交换反应装置和用于将热交换反应装置的循环热交换媒介回收至循环液容器;

温度控制电路,设置有三相电源输入端,三相电源输入端并联有泵液驱动支路、发热驱动支路和控温支路;

控温支路设置有温控器和温度传感器,温度传感器用于实时监测循环液容器内的循环热交换媒介的温度,以使温控器导通或切断发热驱动支路。

进一步的技术方案中,泵液装置包括第一流路、第二流路和设置于第一流路的水泵,第一流路连通于循环液容器的出液口和热交换反应装置的进液口,第二流路连通于热交换反应装置的出液口和循环液容器的进液口。

进一步的技术方案中,控温支路还设置有交流接触器KM1,所述温度传感器选用K型热电偶,K型热电偶电连接于温控器的温度采集接口,交流接触器KM1的线圈电连接于温控器的常开开关接口,以形成一控温支路,交流接触器KM1的主触点和发热管串联形成所述发热驱动支路。

进一步的技术方案中,泵液驱动支路设置有三相过流保护器QF2,三相过流保护器QF2的进电端与三相电源输入端匹配连接,三相过流保护器QF2的接线端与所述泵液装置匹配连接。

进一步的技术方案中,所述发热管数量为三个,交流接触器KM1选用三相接触器,三相接触器的三个触头分别电连接三个发热管。

进一步的技术方案中,所述发热管选用U型加热管,温控器选用型号为XMRD-2001的温控器,温控器设有操作界面和三相电缆接口,三相电源输入端通过电缆连接于三相电缆接口。

进一步的技术方案中,所述热交换媒介选用水、油或酒精。

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