[实用新型]一种硅片磨片支撑架

说明书

本实用新型公开了一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。本实用新型能够对支撑架进行有效固定，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。

技术领域

本实用新型涉及硅片磨片支撑架技术领域，尤其涉及一种硅片磨片支撑架。

背景技术

硅片检测时需进行抛光，即利用机械和化学的作用除去表面机械损伤层，进一步采用化学的方法将其处理成双镜面，以达到检测要求。检测时要求多晶硅片厚度为2.5mm，但硅片在切割时会出现硅片表面边缘有凸起或硅片表面中间有凹槽。而硅片在进行研磨时，需要对其磨片进行支撑。

经检索，中国专利申请号为CN201720398214.8的专利，公开了硅片磨片支撑架及硅片磨片装置，包括支臂及连接于支臂两端且相对设置且两者间具有用于加工硅片的间隙的第一磨片支架及第二磨片支架。第一磨片支架转动连接有上磨片盘和上抛光盘的装置。然而，传统的硅片磨片支撑架在固定好硅片磨片进行研磨时，时常会出现硅片膜片微移的现象，由此，会导致其合格率降低，因此，亟需一种硅片磨片支撑架。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片磨片支撑架。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。

进一步的，所述垫板顶部外壁开有等距离分布的螺纹孔，且每个螺纹孔内壁均通过螺纹固定有圆形柱。

进一步的，所述圆形柱顶部外壁通过焊接有放置盘，且放置盘顶部和底部连通。

进一步的，所述电动滑轨两端外壁均通过螺栓固定有限位板，且废料槽高度不高于垫板的高度。

进一步的，所述圆形柱顶部外壁开有安装槽，且安装槽底部内壁设置有弹簧。

进一步的，所述弹簧顶部和底部外壁均通过凸块套接有连接板，且其中一个连接板位于放置盘底部，放置盘圆周内壁开有两个卡槽。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片磨片支撑架，具备以下有益效果：

1.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有固定架和支架，能够对支撑架进行有效固定，同时通过设置有电动滑轨和滑块，能够对支撑架进行高度调节，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要。

2.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有圆形柱、卡槽、连接板、弹簧和安装槽，通过挤压连接板，使得硅片磨片卡接于卡槽内，进而达到对硅片磨片的固定，也避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。

3.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有废料槽，促进了对硅片磨片研磨后的废料进行收集，从而提高了整体装置的实用性。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型结构简单，操作方便，且对硅片磨片的固定效果好。

附图说明