[实用新型]传送辊清理装置

权利要求书

1.一种传送辊清理装置，用于清理磁控溅射设备的传送辊表面的溅射物，其特征在于：所述传送辊清理装置包括装置本体、以及至少一个清理凸条，所述清理凸条设置在所述装置本体的底部且向下凸起，各个所述清理凸条的延伸方向相互平行，相邻的两个所述清理凸条的间距不小于所述传送辊的直径，所述清理凸条的高度不大于所述传送辊的半径，所述清理凸条的长度不大于所述传送辊的长度。

2.根据权利要求1所述的传送辊清理装置，其特征在于：位于所述清理凸条的底部包括延伸方向与所述清理凸条平行的两个棱边，至少一个所述的棱边设有倒角。

3.根据权利要求2所述的传送辊清理装置，其特征在于：所述倒角的斜度为45°。

4.根据权利要求1所述的传送辊清理装置，其特征在于：所述装置本体在清理凸条延伸方向的尺寸为所述传送辊长度的一半，所述清理凸条的长度也为所述传送辊长度的一半。

5.根据权利要求1所述的传送辊清理装置，其特征在于：所述装置本体为板状，所有的所述清理凸条都设置在所述装置本体的同一侧部。

6.根据权利要求1所述的传送辊清理装置，其特征在于：所述装置本体的顶部设置有若干向上突起的顶部清理凸条，所述顶部清理凸条的延伸方向与所述清理凸条的延伸方向平行。

7.根据权利要求6所述的传送辊清理装置，其特征在于：在垂直于所述顶部清理凸条的方向上，所述装置本体的两端部各设置有一个所述顶部清理凸条。