[实用新型]一种防掉渣溅射挡底板

说明书

本实用新型公开一种防掉渣溅射挡底板。包括：挡板，呈“L”状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之呈相对设置的内壁处，呈“L”状设置的挡板之延伸部位临近溅射腔体之底端，并在挡板之间形成溅射区域；底板，呈块状，其异于溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在腔体之底部的冷却水管上，并与挡板之纵向呈间隔设置，形成镀膜玻璃之运行通道。本实用新型当镀膜工艺发生改变或色系转变时，溅射腔体温度相应波动，则凭借有机硅橡胶的弹性力使得靶材积渣不易崩落，有效的降低了因掉渣导致废板的数量，提高产品良率，值得业界推广使用。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种防掉渣溅射挡底板。

背景技术

Low-E玻璃又称低辐射玻璃，是在玻璃表面镀制多层金属层或其他化合物组合层形成的膜系产品。Low-E玻璃的主要功能层是Ag层，Ag是自然界中辐射率最低的物质之一，在玻璃表面上镀制纳米级别的Ag层，可以使玻璃的辐射率从0.84降低至0.02～0.12，从而将太阳光过滤成冷光源，既满足采光要求，又能保证舒适的室温。

目前，Low-E玻璃的生产设备沿着玻璃的传输方向，依次包括进口室、缓冲室、过渡室、溅射室、过渡室、缓冲室、出口室，各室之间通过密封门隔开，同时各室与外界抽气泵连通，进口端的缓冲室和过渡室的作用是逐步抽取空气，使得溅射室形成真空环境。

为了满足Low-E玻璃的加工性能及有效防止Ag层被外部环境所氧化，所述Low-E玻璃之复合膜系还包括氮化硅类介质层、镍铬类保护层等。在一个生产周期长时间的溅射沉积过程中，所述生产设备之溅射室内靶材积渣逐渐严重，均直接粘附在溅射室之腔体内壁。明显地，所述靶材积渣与所述腔体内壁之热膨胀系数的差异，导致镀膜工艺发生改变或色系转变时，腔体温度相应波动，势必导致腔体内壁的靶材积渣崩落，弹落在镀膜玻璃上，形成不可接受的透光点。

寻求一种可吸附积渣，并有效防止因为溅射腔体温度波动导致积渣崩落在镀膜玻璃上造成废板的防掉渣溅射挡底板已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本实用新型一种防掉渣溅射挡底板。

发明内容

本实用新型是针对现有技术中，现有设备中靶材积渣与腔体内壁之热膨胀系数的差异，导致镀膜工艺发生改变或色系转变时，腔体温度相应波动，势必导致腔体内壁的靶材积渣崩落，弹落在镀膜玻璃上，形成不可接受的透光点防掉渣溅射挡底板等缺陷提供一种防掉渣溅射挡底板。

为实现本实用新型之目的，本实用新型提供一种防掉渣溅射挡底板，所述防掉渣溅射挡底板设置在溅射腔体内，包括：挡板，所述防掉渣溅射挡底板之挡板呈“L”状，其异于所述溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在所述腔体之呈相对设置的内壁处，所述呈“L”状设置的挡板之延伸部位临近所述溅射腔体之底端，并在所述挡板之间形成溅射区域；底板，所述防掉渣溅射挡底板之底板呈块状，其异于所述溅射腔体之内壁的一侧涂覆有机硅橡胶，且固定设置在所述腔体之底部的冷却水管上，并与所述挡板之纵向呈间隔设置，形成镀膜玻璃之运行通道。

可选地，所述挡板之间形成的溅射区域沿玻璃传输方向的宽度小于所述底板沿玻璃传输方向的宽度。

可选地，所述防掉渣溅射挡底板之挡板固定设置在所述腔体之呈相对设置的内壁处，且在所述挡板与所述溅射腔体的内壁之间设置冷却水管。

可选地，所述冷却水管与所述溅射腔体的内壁之间设置连接板。

可选地，所述连接板通过螺钉固定设置在所述溅射腔体之内壁处，且具有悬挂设置的螺栓，用以固定所述防掉渣溅射挡底板之挡板。

可选地，所述有机硅橡胶为膏状流体，在常温下自然固化。

可选地，所述有机硅橡胶的厚度范围为0.5～2mm。