[实用新型]一种阴极射线激发发射光谱仪

权利要求书

1.一种阴极射线激发发射光谱仪，其特征在于，所述阴极射线激发发射光谱仪包括显微镜(5)、设置于所述显微镜(5)上的阴极发光仪和与所述显微镜(5)连接的光纤光谱仪(2)，所述阴极发光仪的真空舱(4)设置于所述显微镜(5)的载物台上，所述显微镜(5)包括显微镜主体、由下至上设置于所述显微镜主体内的全反射物镜(3)和分光镜(7)，所述全反射物镜(3)的型号为LMM-15X-UVV-160。

2.如权利要求1所述的阴极射线激发发射光谱仪，其特征在于，所述显微镜(5)的正上方设有CCD图像采集系统(1)，所述CCD图像采集系统(1)的信号传输端连接有电脑(14)。

3.如权利要求1所述的阴极射线激发发射光谱仪，其特征在于，所述真空舱(4)的上侧壁开设有窗口，所述窗口活动连接有观察窗，所述观察窗包括与所述窗口活动连接的第一不锈钢圈(9)和套设于所述第一不锈钢圈(9)内的玻璃板(10)，所述观察窗上活动连接有防辐射保护罩，所述防辐射保护罩包括第二不锈钢圈(11)和套设于所述第二不锈钢圈(11)内的木质纤维板(12)，所述木质纤维板(12)上设有供所述全反射物镜(3)通过的通孔(13)，所述木质纤维板(12)的直径不小于所述玻璃板(10)的直径。

4.如权利要求1所述的阴极射线激发发射光谱仪，其特征在于，所述真空舱(4)内设有样品托盘(15)和用于控制所述样品托盘(15)移动的限位组件，所述限位组件包括上下均为开口结构的移动框(16)、设置于所述真空舱(4)左侧壁和前侧壁的伸缩气缸(17)和与所述真空舱(4)后侧壁和右侧壁垂直连接的弹簧(18)，所述移动框(16)靠近所述弹簧(18)的一侧设有与所述真空舱(4)下侧壁平行的滑槽(20)，所述弹簧靠近所述移动框(16)的一端设有与所述滑槽(20)配合的滑块(21)，所述真空舱(4)的左侧壁和前侧壁开设有供所述伸缩气缸(17)上的推杆(22)通过的通孔，所述通孔内设有密封圈(24)。