[实用新型]背孔引线式压力传感器

权利要求书

1.一种背孔引线式压力传感器，其特征在于，包括：

一器件层，所述器件层内设置有多个压阻及多个导电垫，所述导电垫与所述压阻电连接；

一支撑层，与所述器件层键合，所述支撑层具有一凹槽及多个贯穿所述支撑层的通孔，所述凹槽与所述器件层形成一密封腔，所述压阻对应所述密封腔设置，所述导电垫对应所述通孔设置；

多个电极，设置在所述支撑层未键合的表面，所述电极沿所述通孔的侧壁延伸，并与所述导电垫电连接。

2.根据权利要求1所述的背孔引线式压力传感器，其特征在于，所述背孔引线式压力传感器还包括一绝缘层，所述绝缘层设置在所述电极与所述支撑层之间。

3.根据权利要求1所述的背孔引线式压力传感器，其特征在于，所述背孔引线式压力传感器还包括一导电过渡层，所述导电过渡层设置在所述导电垫表面，所述电极通过所述导电过渡层与所述导电垫电连接。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的背孔引线式压力传感器，其特征在于，所述背孔引线式压力传感器还包括一阻焊层，所述阻焊层覆盖所述电极并暴露出所述电极需要与外部结构电连接的焊点。

5.根据权利要求4所述的背孔引线式压力传感器，其特征在于，所述阻焊层充满所述通孔，或者所述阻焊层沿所述电极的表面延伸。

6.根据权利要求1～3任意一项所述的背孔引线式压力传感器，其特征在于，所述背孔引线式压力传感器还包括多个导电凸块，所述导电凸块设置在所述电极上，用于将所述电极与外部结构电连接。