[实用新型]一种倒封装芯片柔性顶针操作装置和系统有效
申请号: | 201920897129.5 | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN210052728U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 王毅 | 申请(专利权)人: | 深圳市哈德胜精密科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683 |
代理公司: | 44285 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王仲凯 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 顶针 柔性调节 弹簧 拉力调节杆 凸轮连接 芯片 顶针座 摆杆 伺服电机驱动 操作装置 顶针机构 顶针组件 封装芯片 控制芯片 柔性接触 上下运动 伺服电机 缩回 贴装 下压 预设 转动 申请 | ||
本申请公开了一种倒封装芯片柔性顶针操作装置和系统,通过伺服电机与凸轮连接,摆杆与凸轮连接,因此伺服电机驱动凸轮的转动可以带动摆杆的上下运动,顶针组件通过顶针柔性调节弹簧和拉力调节杆与顶针座连接,顶针座上的顶针通过顶针柔性调节弹簧将顶针拉住,顶针柔性调节弹簧的拉力可通过拉力调节杆进行调节设置,顶针柔性调节弹簧在受到外力大于预设力时,顶针会缩回,以此达到顶针与芯片的柔性接触,解决了现有的顶针机构只能靠调整顶针的行程来控制芯片顶起的高度,存在顶针在贴装下压吸取芯片时损坏芯片的风险的技术问题。
技术领域
本申请涉及电子封装与制造技术领域,尤其涉及一种倒封装芯片柔性顶针操作装置和系统。
背景技术
随着电力电子技术的快速发展,电子器件的市场需求日益增大,集成芯片成为当今全球经济发展的高速增长点,成为关乎国民经济和社会发展的基础性和战略性产业。
电子封装作为集成芯片工业的后道工序,芯片拾取过程是电子封装中不可或缺的一个关键工艺步骤,完成单片集成芯片从蓝膜基板到拾取头的首次转移,以衔接后续工业过程,如视觉引导贴片、键合等,而对集成芯片进行顶起和剥离的操作需要利用顶针机构进行,传统的顶针机构只能够完成将顶针快速顶起,只能靠调整顶针的行程来控制芯片顶起的高度,以保证贴装吸头在吸取芯片时不压坏芯片,无法实现顶针柔性接触芯片,存在顶针在贴装下压吸取芯片时损坏芯片的风险。
实用新型内容
本申请实施例提供了一种倒封装芯片柔性顶针操作装置和系统,用以解决现有的顶针机构只能靠调整顶针的行程来控制芯片顶起的高度,存在顶针在贴装下压吸取芯片时损坏芯片的风险的技术问题。
有鉴于此,本申请第一方面提供了一种倒封装芯片柔性顶针操作装置,包括:底座、柔性运动机构和顶针组件;
所述柔性运动机构安装在所述底座上;
所述顶针组件通过顶针座托板安装在所述柔性运动机构的支架座上;
所述柔性运动机构包括:所述支架座、顶针柔性调节弹簧、拉力调节杆、伺服电机、凸轮和摆杆;
所述顶针柔性调节弹簧与所述拉力调节杆连接;
所述顶针组件通过所述顶针柔性调节弹簧和所述拉力调节杆与所述顶针组件的顶针座连接;
所述伺服电机通过所述凸轮与所述摆杆连接;
所述摆杆与所述顶针座连接;
所述顶针组件包括:所述顶针座、顶针、顶针套、顶针锁紧套和顶针杆;
所述顶针座安装在所述顶针座托板上,与所述顶针杆连接;
所述顶针杆与所述顶针连接;
所述顶针套套接在所述顶针杆与所述顶针连接位置处;
所述顶针锁紧套安装在所述顶针套上,用于锁紧所述顶针。
优选地,还包括:顶针防护组件;
所述顶针防护组件套接在所述顶针组件上;
所述顶针防护组件包括固定板、支撑座、盖板、浮动套和感应片;
所述支撑座安装在所述固定板上;
所述固定板、所述支撑座和所述盖板中心均设置有用于所述浮动套穿入的通孔;
所述浮动套通过拉簧与所述支架座连接;
所述感应片一端与所述浮动套连接,另一端与光纤感应器连接。
优选地,所述顶针组件还包括:设有第一真空孔和所述顶针出针孔的顶针帽、顶针杆导套和套筒;
所述顶针杆导套与所述顶针杆连接;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造