[实用新型]一种歧管式复杂结构微通道微型散热器有效

专利信息
申请号: 201920897610.4 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN209896047U 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 马丹丹;夏国栋;王佳豪 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/473
代理公司: 11203 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人: 张立改
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 微通道 复杂结构 流体 盖板 上表面 主歧管 基板 歧管 加工 大功率电子芯片 对流换热效果 微型散热器 堆叠封装 对流换热 流动阻力 流体出口 流体入口 歧管通道 强化换热 外部管路 温度分布 扰动 均匀性 面积和 下表面 有效地 散热 壁面 肋壁 通孔 流出 出口
【说明书】:

一种歧管式复杂结构微通道微型散热器,属于强化换热技术领域。包括由依次堆叠封装在一起的盖板(1),基板(2);盖板(1)的上表面加工有与外部管路连接的通孔,分别作为流体入口(3)和流体出口(4),下表面加工有歧管通道,分别作为流体流入复杂微通道的入口主歧管(5)和流体流出复杂微通道的出口主歧管(6);基板(2)上表面加工复杂结构微通道(7),肋壁(8)。本装置歧管式的设计有效地降低流动阻力,提高了温度分布的均匀性;同时复杂结构微通道增大对流换热面积和流体的扰动,增强了对流换热效果,降低了壁面温度;可满足大功率电子芯片的散热要求。

技术领域

实用新型属于强化换热技术领域,具体是一种新型歧管式复杂结构微通道微型散热器的设计,应用于高热流微电子器件的散热。

背景技术

随着微电子技术、大型集成电路、高速计算机等科学技术的飞速发展,高功率、高集成度以及微型化已经成为电子器件的主要发展趋势。微电子芯片的集成元件每年以40%~50%的速度递增,特别是在一些尖端技术领域如大功率雷达的微电子芯片,瞬态热流密度甚至高达107W/m2。若不能及时有效地对芯片散热,热量堆积将会造成芯片性能下降、寿命降低,甚至烧毁器件。据统计,微电子芯片的失效55%以上是由散热问题导致,且器件的工作环境温度在70-80℃水平上,每增加1℃,可靠性下降5%。因此,高热流密度微型器件及设备的散热问题严重制约着高新技术的发展,越来越受到国际传热界及相关工业领域的高度重视。由于其瞬态热流密度高,散热面积小,常规冷却技术已无法满足散热需求,研制体积小、重量轻、传热效率高、结构紧凑的微型冷却技术迫在眉睫。

目前国内外学者正在积极着手研究的微冷却器包括:微通道散热器、微冷冻机、微热管均热片、整合式微冷却器及微射流阵列热沉等。其中,微通道散热器因其比表面积大、单位面积换热强度高、自重轻、体积小、可以直接集成在散热芯片上避免了热应力匹配问题等优点,被认为是解决高热流密度微型设备散热问题的有效方法之一,得到了国内外学者的高度重视和广泛研究。但是微通道换热器存在两个设计上的局限。其一,是由于小尺寸所产生的较大流动阻力;其二,热流密度高引起冷却介质在入口、出口间温度变化较大,导致换热表面温度分布不均。

因此,设计压降较小,温度分布均匀的微通道散热器成为微电子芯片散热的关键技术。

实用新型内容

鉴于上述所提到的问题,本实用新型提出了一种新型歧管式复杂微通道散热器,目的在于实现微散热器强化换热的同时,降低微散热器压降,提高温度分布的均匀性,为高热流芯片的运行提供可靠的温度环境。

本实用新型设计了一种新型歧管式复杂微通道散热器,其特征在于,如图1所示:包括盖板(1),基板(2),盖板(1)盖住基板(2);盖板(1)的上表面加工有与外部管路连接的通孔,分别作为流体入口(3)和流体出口(4),下表面加工有两个歧管主通道槽,流体入口(3)下部的歧管主通道槽和流体出口(4)下部的歧管主通道槽分别作为流体流入复杂微通道的入口主歧管(5)和流体流出复杂微通道的出口主歧管(6);入口主歧管(5)长度方向和出口主歧管(6)长度方向平行且相对;入口主歧管(5)和出口主歧管(6)之间,入口主歧管(5)设有多个垂直于入口主歧管(5)且伸向出口主歧管(6)的入口支歧管(9),出口主歧管(6)与入口支歧管(9)之间具有间隙,出口主歧管(6)设有多个垂直于出口主歧管(6)且伸向入口主歧管(5)的出口支歧管(10),入口主歧管(5)与出口支歧管(10)之间具有间隙,入口支歧管(9)和出口支歧管(10)交替间隔分布;基板(2)上表面加工复杂结构微通道(7),多个平行的复杂结构微通道(7)构成微通道区域,入口主歧管(5)和出口主歧管(6)对应的位于微通道区域的两侧,入口主歧管(5)和出口主歧管(6)与复杂结构微通道(7)的通道方向平行;

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