[实用新型]一种用于EBSD的预倾斜样品台装置

说明书

一种用于EBSD的预倾斜样品台装置，属于实验室EBSD分析技术领域。装置包括样品台、表面样品、截面样品和样品座；样品台为T字型台，T字型台横梁为四棱柱，横梁长度尺寸为60～80mm，横梁上顶面为20°的斜面，横梁正前方斜面为70°，与上顶面成直角；T字型台横梁中心垂直位置有一竖梁，样品台的竖梁与样品座相连接；样品台的横梁上顶面上有截面样品；样品台横梁正前方斜面上有表面样品。优点在于，一次性可以放置多个用于EBSD分析的表面或截面样品，实用性强。

技术领域

本实用新型属于实验室EBSD分析技术领域，特别涉及一种用于EBSD的预倾斜样品台装置。

背景技术

随着电子背散射衍射技术(EBSD)不断发展，在材料领域的微观取向分析方面得到了广泛的应用。目前，做EBSD分析用的样品台装置是一个具有70°斜面的样品台，该样品台为铜制材料，较软，易破损，且样品不容易固定，易漂移，尤其是斜面面积太小，仅有10mm大小，每次只能安装一个样品进行EBSD分析，若要继续分析下一个样品，需要将样品重新取下再次安装新的样品，大大增加了实验周期，整个操作流程过于频繁，不利于样品的快速高效分析。

本实用新型提供了一种可以在EBSD分析时一次性放置多个样品的样品台装置，为材料领域进行EBSD分析时提高分析效率提供了较好的解决方案。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于EBSD的预倾斜样品台装置，解决了在做EBSD分析时无法放置多个样品的问题。

一种用于EBSD的预倾斜样品台装置，包括样品台1、表面样品2、截面样品3和样品座4。样品台1为T字型台，T字型台横梁为四棱柱，横梁长度尺寸为60～80mm，横梁厚度尺寸为7～10mm，横梁上顶面为20°的斜面，横梁正前方斜面为70°，与上顶面成直角；T字型台横梁中心垂直位置有一竖梁，竖梁为长方体，竖梁长度与横梁宽度之和尺寸为40～45mm，竖梁宽度尺寸为7～10mm，竖梁厚度与横梁厚度一致；样品台1的竖梁与样品座4相连接；样品台1的横梁上顶面上有截面样品3；样品台1横梁正前方斜面上有表面样品2。

样品台1和样品座4的材质为不锈钢；

表面样品2和截面样品3的样品尺寸长和宽均为5～20mm，厚度≤5mm。

该装置的工作原理为：将分析表面样品2用导电胶带粘在样品台1的横梁70°斜面上或将分析截面样品3用导电胶带粘在样品台1的横梁20°斜面上，一次性可以放置多个样品，然后将样品台1固定在样品座4上，放入扫描电镜内进行EBSD分析；观察完毕取样时，直接将分析样品从样品台1上取下，放入干燥柜保存。

本实用新型的优点在于：一次性可以放置多个样品，且可以放置用于EBSD分析的表面或截面样品，操作简便，快捷，实用性强。

附图说明

图1为样品台装置的三维组合示意图。其中，样品台1、表面样品2、截面样品3、样品座4。

图2为样品台装置的二维正视图。

图3为样品台装置的二维俯视图。

图4为样品台装置的二维左视图。

具体实施方式

图1-图4为本实用新型的一种具体实施方式。

一种用于EBSD的预倾斜样品台装置，包括样品台1、表面样品2、截面样品3和样品座4。样品台1为T字型台，T字型台横梁为四棱柱，横梁长度尺寸为60mm，横梁厚度尺寸为7mm，横梁上顶面为20°的斜面，横梁正前方斜面为70°，与上顶面成直角；T字型台横梁中心垂直位置有一竖梁，竖梁为长方体，竖梁长度与横梁宽度之和尺寸为40mm，竖梁宽度尺寸为10mm，竖梁厚度与横梁厚度一致；样品台1的竖梁与样品座4相连接；样品台1的横梁上顶面上有截面样品3；样品台1的横梁正前方斜面上有表面样品2。