[实用新型]一种带有加速筒的金刚石膜制备装置

说明书

本实用新型涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种带有加速筒的金刚石膜制备装置。本实用新型解决了采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。一种带有加速筒的金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管、径向支撑杆、圆饼形水冷腔、驱动电机、驱动齿轮、L形支撑杆、导电触头、热丝阵列、圆形加速筒、径向安装杆、下圆形导电加速栅网、上圆形导电加速栅网、下圆形大导电栅网、上圆形大导电栅网、喇叭形导气罩、U形导气管、下圆形小导电栅网、上圆形小导电栅网、放电针、接地针、抽气孔、矩形窗孔、第一至第九电源。本实用新型适用于金刚石膜的大面积制备。

技术领域

本实用新型涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种带有加速筒的金刚石膜制备装置。

背景技术

金刚石膜是一种集各种优异性能于一身的功能材料，其广泛应用于微电子、光电子、生物医学、机械、航空航天、核能等领域。目前，大面积制备金刚石膜的主要方法之一是热丝化学气相沉积法。然而实践表明，采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时，存在如下问题：由于等离子体气流在基片的径向上存在不均匀性，且等离子体和基片之间的相对速度较低，导致金刚石膜的沉积厚度在径向上不均匀、沉积速度受限，由此导致金刚石膜的制备质量和速度受限。基于此，有必要发明一种全新的制备技术，以解决采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。

发明内容

本实用新型为了解决采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题，提供了一种带有加速筒的金刚石膜制备装置。

本实用新型是采用如下技术方案实现的：

一种带有加速筒的金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管、径向支撑杆、圆饼形水冷腔、驱动电机、驱动齿轮、L形支撑杆、导电触头、热丝阵列、圆形加速筒、径向安装杆、下圆形导电加速栅网、上圆形导电加速栅网、下圆形大导电栅网、上圆形大导电栅网、喇叭形导气罩、U形导气管、下圆形小导电栅网、上圆形小导电栅网、放电针、接地针、抽气孔、矩形窗孔、第一至第九电源；