[实用新型]膜片型光纤法珀腔传感器制备装置有效
| 申请号： | 201920904504.4 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN210571138U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 喻乐;王爱清;张树宁;郭书辰 | 申请（专利权）人： | 北京知觉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王赛 |
| 地址： | 100085 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜片 光纤 法珀腔 传感器 制备 装置 | ||
1.一种膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，包括腐蚀部件、可升降夹具、控制部件、压力舱、加压部件、压力测量部件和腔长测量部件；
所述腐蚀部件内盛装腐蚀液，用于减薄膜片型光纤法珀腔传感器预制体的膜片厚度；
所述可升降夹具用于固定所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体；
所述控制部件用于控制所述可升降夹具的升降，使所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体能够浸入所述腐蚀部件的所述腐蚀液中以及从所述腐蚀液中提升出；
所述压力舱为密闭空间，所述腐蚀部件和所述可升降夹具均置于所述压力舱内，所述加压部件与所述压力舱连接，用于向所述压力舱内通气或从所述压力舱内抽气，以改变所述压力舱内的气压；
所述压力测量部件用于测量所述压力舱内的气压大小；
所述腔长测量部件用于测量所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体的实时腔长。
2.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述压力测量部件还用于将气压大小信号输出并反馈给所述控制部件，所述腔长测量部件还用于将实时腔长信号输出并反馈给所述控制部件。
3.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述压力测量部件为压力表。
4.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述腔长测量部件为腔长解调仪。
5.根据权利要求4所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述腔长解调仪为多路解调仪。
6.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述膜片型光纤法珀腔传感器预制体能够浸入所述腐蚀液液面以下3mm至5mm。
7.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述膜片型光纤法珀腔传感器制备装置包括多个可升降夹具。
8.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述加压部件包括空气泵、管路以及阀门。
9.根据权利要求8所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述空气泵为电动气泵。
10.根据权利要求1所述的膜片型光纤法珀腔传感器制备装置，其特征在于，所述控制部件自动控制所述可升降夹具的升降。
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