[实用新型]一种用于半导体行业的废气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体行业的废气处理系统，包括用于过滤废气的沸石转轮以及用于催化燃烧有机物的催化直燃炉，沸石转轮包括吸附区与脱附区，吸附区连接有用于将废气输送至吸附区内进行过滤并将过滤后的废气输送至烟囱排放的第一风机，脱附区连接有用于向脱附区内输入气流并将脱附区内的废气输送至催化直燃炉的第二风机，脱附区的入口连接有用于加热输送至脱附区的气流的加热装置，催化直燃炉的出口用于连通烟囱以排放燃烧后的气体。采用了吸附加催化燃烧法对废气进行处理，催化燃烧可在较低的温度下实现VOCs完全氧化，因此在提高废气处理效果的同时，降低了废气的处理的能耗，且具体设备简单、能耗低、安全性能高。

技术领域

本实用新型涉及大气污染防治技术领域，更具体地说，涉及一种用于半导体行业的废气处理系统。

背景技术

随着我国经济的快速发展，挥发性有机物VOCs(volatile organic compounds)大量产生，VOCs中的碳氢化合物与氮氧化合物在紫外线的作用下反应生成臭氧，可导致大气光化学烟雾事件发生，危害人类健康和植物生长，且VOCs参与大气中二次气溶胶的形成，二次气溶胶多为细颗粒，不易沉降，能较长时间滞留在大气中，对光线的散射力较强，能显著降低大气能见度。目前我国大部分城市大气环境已呈现区域性霾污染、臭氧及酸雨等三大复合型污染特点，而VOCs是极重要的助推剂之一。这对人们的健康和生态系统的平衡造成了极大的威胁，VOCs污染治理已成为我国大气环境治理的重要问题。

VOCs的治理方法，可分为回收技术和销毁技术两类。回收技术是采用物理方法将VOCs回收的非破坏性方法，主要有吸附法、冷凝法、膜处理法等。销毁技术即通过化学或生物反应过程使VOCs废气氧化分解为无毒或低毒物质的破坏性方法，主要技术有直接燃烧、催化燃烧、等离子体技术、生物降解等。

在半导体行业VOCs特质为大风量，低浓度，因此目前以吸附法加燃烧法组合技术为主。直接燃烧法处理温度都在750℃以上，能耗大，设备运行成本高。

因此，如何解决处理挥发性有机物VOCs存在的能耗大且设备运行成本高的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于半导体行业的废气处理系统，该废气处理系统利用催化燃烧法加余热回收技术，在较低的温度下可实现VOCs完全氧化，且具体设备简单、能耗低、安全性能高。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于半导体行业的废气处理系统，包括用于过滤废气的沸石转轮以及用于催化燃烧有机物的催化直燃炉，所述沸石转轮包括吸附区与脱附区，所述吸附区连接有用于将废气输送至所述吸附区内进行过滤并将过滤后的废气输送至烟囱排放的第一风机，所述脱附区连接有用于向所述脱附区内输入气流并将所述脱附区内的废气输送至所述催化直燃炉的第二风机，所述脱附区的入口连接有用于加热输送至所述脱附区的气流的加热装置，所述催化直燃炉的出口用于连通烟囱以排放燃烧后的气体。

优选的，所述吸附区的入口连接有用于过滤杂质的第一过滤装置。

优选的，所述脱附区的进口与出口处还设有用于检测并显示所述吸附区的进口与出口处的压力的压力表。

优选的，所述沸石转轮为筒式沸石转轮。

优选的，所述加热装置为连接于所述催化直燃炉的出口的第一换热器，所述第一换热器的热侧端连接于所述催化直燃炉的出口，所述第一换热器的冷侧端连接于所述脱附区的入口。

优选的，还包括第二换热器，所述第二换热器的热侧端连接于所述第一换热器的热侧端，所述第二换热器的冷侧端分别连接于所述脱附区的出口与所述催化直燃炉的入口。

优选的，所述第一换热器的冷侧端的入口处连接有用于过滤杂质的第二过滤装置。