[实用新型]用于电感探针的非线性补偿装置

权利要求书

1.一种用于电感探针的非线性补偿装置，其特征在于，所述装置包括：

第一厚度减薄值模块，其用于依据第一预设值以及测量试片与补偿试片的电压差分比，计算得到未进行补偿时测量试片的第一厚度减薄值；

实时厚度模块，其用于依据所述第一厚度减薄值，结合测量试片以及补偿试片的尺寸设计值，计算得到测量试片的实时厚度；

第二厚度减薄值模块，其用于依据所述实时厚度以及测量试片的厚度设计值，计算得到进行补偿后测量试片的第二厚度减薄值。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一厚度减薄值模块包含电压差分比单元，其配置为：

通过并联在测量试片以及补偿试片两端的电压表，分别测得测量试片以及补偿试片两端的电压值；

依据测量试片以及补偿试片两端的电压值，得到所述电压差分比。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一厚度减薄值模块包含第一计算单元，其配置为通过以下公式计算得到未进行补偿时测量试片的第一厚度减薄值：

H₃＝V*A

其中，H₃表示所述第一厚度减薄值，V表示所述电压差分比，A表示所述第一预设值。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述实时厚度模块包含第二计算单元，其配置为通过以下公式计算得到测量试片的实时厚度：

其中，H_X表示所述实时厚度，L₁表示测量试片的长度设计值，L₂表示补偿试片的长度设计值，W₂表示补偿试片的宽度设计值，H₂表示补偿试片的厚度设计值，W₁表示测量试片的宽度设计值。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第二厚度减薄值模块包含第三计算单元，其配置为通过以下公式计算得到进行补偿后测量试片的第二厚度减薄值：

H₄＝H₁-H_X

其中，H₄表示所述第二厚度减薄值，H₁表示测量试片的厚度设计值。