[实用新型]一种真空转移台

说明书

本实用新型是一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；该种真空转移台能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。

技术领域

本实用新型是真空工况加工技术领域，具体的说是一种真空转移台。

背景技术

真空转移台用于真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等制管工艺处理，整个工艺过程需要在真空环境内实现，在工作的过程中需要对真空腔进行整体加热，一般会将加热结构附着在隔热罩内壁，因此需要隔热罩能够满足隔热的需求，进一步的，由于隔热罩属于刚性结构，在受热时会出现热胀冷缩的现象，导致隔热罩本身发生形变，导致结构失效。因此，需要一种能够在真空环境内进行光电器件加工的设备。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空转移台，能够进行真空光电器件的阴极制作、动态检测、管壳净化、阴极冲刷、真空封装等，具有操作灵活方便，重复性好，加热烘箱保温效果好节能控温精度高，以及使用寿命长的特点。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种真空转移台，包括结构框架和操作单元，所述的结构框架边缘固定安装有烘箱悬臂，所述的结构框架上表面固定安装有加热烘箱，所述的烘箱悬臂与加热烘箱传动连接，所述的烘箱悬臂用于带动加热烘箱开启和闭合，所述的加热烘箱安装有真空腔体系统，所述的真空腔体系统与抽真空系统连通，所述的抽真空系统用于将真空腔体系统内部空间抽成真空环境；

所述的加热烘箱包括固定安装在结构框架上的烘箱隔热板，所述的烘箱隔热板上方设置有可分离的加热烘箱，所述的烘箱隔热板和加热烘箱可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱内设置有真空腔体，所述的真空腔体包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；

第一独立腔体内设置有A工件，第二独立腔体内设置有B工件，第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件和B工件形成的组合工件，第一磁力传递杆一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件传动连接，第二磁力传递杆一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件传动连接，所述的第一磁力传递杆与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；

所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗，所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗，第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰实现密封，所述的第一芯柱法兰用于支撑A工件以及对A工件加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰实现密封，所述的第二芯柱法兰用于支撑B工件以及对B工件加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰实现密封，所述的第三芯柱法兰用于支撑组合工件以及对组合工件加电，所述的真空腔体通过连接气道与抽真空系统连通。

所述的第一磁力传递杆和第二磁力传递杆均沿第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的排列方向设置，所述的第一磁力传递杆的轴心位于第一独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第二磁力传递杆的轴心位于第二独立腔体和第三独立腔体的连接通道内，所述的第一磁力传递杆能够带动A工件在水平和竖直方向上移动，所述的第二磁力传递杆能够带动B工件在水平和竖直方向上移动。

所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均与真空腔体可拆卸连接，所述的第一芯柱法兰、第二芯柱法兰和第三芯柱法兰均设置有引入电极，所述的引入电极用于为A工件、B工件和组合工件加电。