[实用新型]一种具有机器视觉的超精密抛光系统有效
| 申请号： | 201920920198.3 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN210997937U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王子琨;谢筱萍;孙淑琴;盛一 | 申请（专利权）人： | 南京星合精密智能制造研究院有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/12;B24B51/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 211100 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 机器 视觉 精密 抛光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有机器视觉的超精密抛光系统，其特征是它包括固定支架（3）、高精度Z轴位移装置（1）与X轴位移装置（2），X轴位移装置（2）安装在固定支架（3）上并能左右移动，高精度Z轴位移装置（1）安装在X轴位移装置（2）上并能上下移动，高精度Z轴位移装置（1）上安装有能随动的CCD（4）和光学显微镜头（5），在光学显微镜头（5）的下部安装有抛光垫（9），抛光垫（9）安装在抛光盘（8）上，抛光盘（8）由主轴（7）带动高速转动，在抛光盘（8）的一侧安装有单轴抛光机（6），单轴抛光机连接有摆轴调整机构，摆轴调整机构能带动单轴抛光机及其上安装的工件（10）沿抛光盘（8）的径向移动；所述的CCD（4）与计算机辅助工艺参数系统相连，计算机辅助工艺参数系统能利用计算机机器视觉算法分析CCD（4）得到的抛光垫（9）的面形与使用寿命，并能根据抛光垫（9）的面形对工艺参数进行优化，控制单轴抛光机（6）的摆轴调整机构，对摆轴的摆幅及转速进行调节。
2.根据权利要求 1 所述的超精密抛光系统，其特征在于所述的光学显微镜头（5）为具有偏振镜片的光学镜头。
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