[实用新型]光伏电池两面镀膜装置

权利要求书

1.一种光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：包括上下料机（50）、工作台机柜（10）、主机柜（20）和气源柜（30），工作台机柜（10）承载硅片放置到主机柜（20）中，主机柜（20）至少包括若干个二合一管式PECVD反应腔（21），每个二合一管式PECVD反应腔（21）至少配备镀氧化铝和氮化硅膜的气路并由气源柜（30）供气，上下料机（50）对每个二合一管式PECVD反应腔（21）进行下料和上料，并在下料和上料之间完成硅片的翻面操作。

2.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：二合一管式PECVD反应腔（21）既完成光伏电池的背面镀膜，又在硅片翻面后完成光伏电池的正面镀膜。

3.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：二合一管式PECVD反应腔（21）的壁层结构是保护套管及石英衬管，或者是保护套管、石英管及石英衬管。

4.根据权利要求3所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：保护套管为耐高温金属管。

5.根据权利要求3所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：保护套管的材料为310钢材。

6.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：主机柜（20）还至少包括若干个单一管式PECVD反应腔（22），单一管式PECVD反应腔（22）和二合一管式PECVD反应腔（21）分工配合，单一管式PECVD反应腔（22）专门用于硅片正面的镀膜，二合一管式PECVD反应腔（21）专门用于硅片背面的镀膜。

7.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：上下料机（50）对应每个二合一管式PECVD反应腔（21），在各个二合一管式PECVD反应腔（21）之间进行轮换操作。

8.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：上下料机（50）包括载片盒和真空吸盘，在硅片背面镀膜完成后，真空吸盘吸附硅片的背面将推拉舟上的硅片取下，放入载片盒内，然后真空吸盘对硅片正面进行吸附，将硅片放入正面镀膜反应腔的推拉舟中。

9.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：上下料机（50）包括相配合的第一真空吸盘和第二真空吸盘，在硅片背面镀膜完成后，第一真空吸盘吸附硅片的背面将推拉舟上的硅片取下，第二真空吸盘吸附硅片正面，然后第一真空吸盘从硅片上脱离，第二真空吸盘将硅片放入正面镀膜反应腔的推拉舟中。

10.根据权利要求1所述的光伏电池两面镀膜装置，其特征在于：还包括TMA防爆柜（40），防止有毒的TMA及尾气泄漏。