[实用新型]一种太阳能薄膜制备装置

说明书

本申请涉及一种太阳能薄膜制备装置，包括腔室、用于密封所述腔室的腔盖和用于启闭所述腔盖的启闭组件；所述启闭组件位于所述腔室上方，用于启闭所述腔盖；所述启闭组件包括驱动件、可转动的摆杆和连接件，所述连接件与所述摆杆的一端连接，所述连接件与所述腔盖可拆卸连接；所述驱动件与所述摆杆的另一端连接，用于驱动所述摆杆转动并带动所述腔盖开启或关闭。避免了在腔盖转移过程中浪费人力物力；而且多个腔室的腔盖可以同时开启，避免了多个腔室依次开启造成的开启效率低下和生产效率低下的问题；再者避免了使用行车开启腔盖时对车间的高度要求，提高了太阳能薄膜制备装置对车间的适用性和应用范围。

技术领域

本申请涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种太阳能薄膜制备装置。

背景技术

铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的制备装置，在太阳能电池的生产中使用较多。铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的制备装置包括多个工艺腔室，每一个腔室都需要用腔盖进行密封。在维修设备的过程中，需要开启和关闭腔盖，对于腔盖的开启工作，目前主要是使用行车进行吊起，行车的吊臂与腔盖间使用柔性连接带连接后，吊臂再升起，从而将腔盖开启。从生产效率考虑，一般一个行车都需要负责开启多个腔室，而且在一个接一个开启腔盖的过程中，行车还需要将腔盖进行转移放置，才能继续开启其他腔盖，这就造成开启腔盖的效率很低，进而导致生产效率极低；从车间的空间考虑，行车的吊臂高度较高，对于车间的高度要求较高，高度低的车间运行十分困难甚至无法运行；再者，吊臂的高度也使得吊臂与腔盖间的高度差较大，用于连接二者的柔性连接带长度较长，为了防止腔盖在开启和转移过程中的晃动，需要人工手扶，浪费了极大的人力成本，并进一步减慢了开启效率和生产效率。

因此，需要提供一种太阳能薄膜制备装置来解决现有技术的不足。

实用新型内容

为了解决现有技术中的问题，本申请提供了一种太阳能薄膜制备装置。

一种太阳能薄膜制备装置，包括腔室、用于密封所述腔室的腔盖和启闭组件；

所述启闭组件位于所述腔室上方，用于启闭所述腔盖；

所述启闭组件包括驱动件、可转动的摆杆和连接件，所述连接件与所述摆杆的一端连接，所述连接件与所述腔盖可拆卸连接；所述驱动件与所述摆杆的另一端连接，用于驱动所述摆杆转动并带动所述腔盖开启或关闭。

进一步的，所述腔盖的上表面设有第一连接环，所述连接件与所述第一连接环可拆卸连接。

进一步的，所述驱动件的输出轴水平设置，所述驱动件的输出轴与所述摆杆垂直连接。

进一步的，所述腔盖的上表面设有多个第一连接环，多个所述第一连接环环绕着所述腔盖的中心均匀分布在四周；所述启闭组件的数目和位置与多个所述第一连接环一一对应。

进一步的，所述连接件为第二连接环，所述第一连接环和与之对应的启闭组件的第二连接环间通过柔性连接带可拆卸连接。

进一步的，所述腔盖的上表面设有多个第一连接环，多个所述第一连接环同轴设置，所述启闭组件的数目和位置与多个所述第一连接环一一对应；多个启闭组件的所述驱动件的输出轴同轴设置；所述输出轴与所述第一连接环的轴线平行。

进一步的，所述连接件为第二连接环；多个所述摆杆分别旋转至与所述腔盖平行时，多个所述第二连接环和多个所述第一连接环同轴设置，通过分别贯穿多个所述第二连接环和多个所述第一连接环的螺栓连接所述启闭组件和所述腔盖。

进一步的，所述连接件为环状卡扣；所述启闭组件的摆杆旋转到与所述腔盖平行时，所述启闭组件的环状卡扣和与之对应的第一连接环卡接。

进一步的，还包括设置于所述腔室内的真空度检测件，所述真空度检测件与所述驱动件电控连接，所述驱动件根据所述真空度检测件检测到的真空度参数确定是否驱动。