[实用新型]一种惰性气体净化系统及其惰性气体手套箱

权利要求书

1.一种惰性气体净化系统，其特征在于，包括出气管(10)、进气管(20)、一个或多个净化柱装置(30)、循环风机(40)、冷却系统(50)和真空系统(70)，所述进气管(20)和所述出气管(10)的一端均与所述一个或多个净化柱装置(30)可拆卸连通，所述出气管(10)的另一端与所述循环风机(40)内部连通，所述循环风机(40)与所述冷却系统(50)内部连通；

所述出气管(10)和所述进气管(20)上均设有分隔阀，每个净化柱装置(30)上设有用于与所述真空系统和惰性气体源连通的三通阀(310)。

2.如权利要求1所述的惰性气体净化系统，其特征在于，

每个所述净化柱装置(30)包括净化柱和与位于净化柱上的第一连通管道和第二连通管道，所述第一连通管道与所述出气管(10)通过软连接管实现可拆卸连接，所述第二连通管道与所述进气管(20)通过软连接管实现可拆卸连接，所述三通阀(310)位于第二连通管道。

3.如权利要求2所述的惰性气体净化系统，其特征在于，

所述第一连通管道和所述第二连通管道均设有分隔阀，所述第二连通管道的分隔阀位于所述净化柱和所述三通阀(310)之间。

4.如权利要求1所述的惰性气体净化系统，其特征在于，

所述惰性气体净化系统还设有控制系统(60)，所述控制系统(60)与所述循环风机(40)、所述冷却系统(50)、所述分隔阀(210)和所述三通阀(310)电连接。

5.如权利要求1所述的惰性气体净化系统，其特征在于，

每个所述净化柱装置(30)上均设有用于进行有效标识的电子标签。

6.一种包括如权利要求1～5任一所述的惰性气体净化系统的惰性气体手套箱，其特征在于，

所述惰性气体手套箱包括箱体、用于将物品传入或传出箱体的过渡传递舱、用于监测惰性气体净化系统的水氧测量系统和所述惰性气体净化系统，所述过渡传递舱与所述箱体连通，所述惰性气体净化系统与所述箱体连通，所述水氧测量系统与所述惰性气体净化系统电连接。

7.如权利要求6所述的惰性气体手套箱，其特征在于，

所述进气管(20)的另一端与所述箱体连通，所述冷却系统(50)与所述箱体内部连通。

8.如权利要求1所述的惰性气体净化系统，其特征在于，

所述净化柱装置(30)的个数为2个。