[实用新型]一种退火炉炉底用钢辊

说明书

本实用新型公开了一种退火炉炉底用钢辊，属于退火炉技术领域，包括辊体、分别安装在辊体两端的轴头，其中，辊体和轴头之间螺纹连接，辊体和轴头的连接处焊接有铆钉，铆钉沿辊体的截面圆的圆周方向设置，也即本实用新型实施例的钢棍取消了过渡套环和焊接工艺，其轴头和辊体之间采用过盈螺纹连接并配合焊接铆钉加固，可以极大地缩短了工期，降低了材料成本和时间成本，并且可以避免已有技术中的退火炉炉底用钢辊的焊缝极其容易开裂的缺陷，提高退火炉炉底用钢棍的成品率，降低其制造成本和使用风险。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，尤其涉及一种退火炉炉底用钢辊。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

已有技术中的退火炉炉底用钢棍的钢辊轴头和辊体对接的传统工艺是过渡套环焊接结构，也即辊体焊接过渡套环，过渡套环再与轴头焊接。虽然采取了过渡材料减少了一部分焊接的难度，但是由于K60材料的焊接性能太差，焊缝极其容易开裂，导致退火炉炉底用钢棍的成品率极低，制造成本高，并且使用风险大。

发明内容

本实用新型提供一种退火炉炉底用钢辊，旨在解决已有技术中的退火炉炉底用钢辊的焊缝极其容易开裂的缺陷，提高退火炉炉底用钢棍的成品率，降低其制造成本和使用风险。

本实用新型提供的具体技术方案如下：

本实用新型提供的一种退火炉炉底用钢辊包括辊体、分别安装在所述辊体两端的轴头，其中，所述辊体和所述轴头之间螺纹连接，所述辊体和所述轴头的连接处焊接有铆钉，所述铆钉沿所述辊体的截面圆的圆周方向设置。

可选的，所述辊体的端部延期圆周方向上对称设置有铆钉安装通孔，所述铆钉与所述铆钉安装通孔的侧壁之间焊接。

可选的，所述轴头的端部设置有与所述铆钉安装通孔相配合的沉孔，所述铆钉的下端焊接固定在所述沉孔内。

可选的，所述辊体的端部延期圆周方向上对称设置有3个所述铆钉安装通孔，所述铆钉与所述铆钉安装通孔和所述沉孔之间采用塞焊的方式相焊接固定。

可选的，所述轴头和所述辊体均为中空结构，并且所述轴头和所述辊体的内腔相连通。

可选的，所述轴头包括圆筒轴和锥形轴，其中，所述锥形轴的端部加工有外螺纹，所述圆筒轴的端部设置有销钉孔。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型实施例提供一种退火炉炉底用钢辊包括辊体、分别安装在辊体两端的轴头，其中，辊体和轴头之间螺纹连接，辊体和轴头的连接处焊接有铆钉，铆钉沿辊体的截面圆的圆周方向设置，也即本实用新型实施例的钢棍取消了过渡套环和焊接工艺，其轴头和辊体之间采用过盈螺纹连接并配合焊接铆钉加固，可以极大地缩短了工期，降低了材料成本和时间成本，并且可以避免已有技术中的退火炉炉底用钢辊的焊缝极其容易开裂的缺陷，提高退火炉炉底用钢棍的成品率，降低其制造成本和使用风险。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。