[实用新型]硅锭反转装置

说明书

本实用新型公开了硅锭反转装置，涉及硅锭加工技术领域。本实用新型包括：用于夹持硅锭的夹具(4)、控制夹具(4)动作的调整部件及用于喷砂打磨的工作台(3)；夹具(4)穿过变径导向块(5)与齿轮(11)连接，变径导向块(5)安装在滑块(6)中，与气缸(10)连接的内嵌块(601)嵌入支柱(2)中，在支柱(2)外侧安装改变齿轮(11)运行路径的上挡板(7)和下挡板(8)，紧邻支柱(2)的第一径区(1201)的中部设有与齿轮(11)啮合的带轮齿的齿区(1202)，齿区(1202)的长度等于齿轮(11)周长的一半。本实用新型有益技术效果：专门用于硅锭的反转操作，将底面反转成上面，便于硅锭喷砂打磨工艺的进行，结构简单，易于操作。

技术领域

本实用新型涉及硅锭加工技术领域，特别涉及硅锭反转装置。

背景技术

硅片是电子产品制造中重要的原材料，在将硅锭加工成硅片前，需要对硅锭各个表面进行喷砂打磨。硅锭置于工作台上，四周侧面及上表面便于直接打磨，而直接接触工作台的底面因未暴露而不易操作，可以通过反转使底面暴露易于喷砂打磨。由于硅锭较重，将其反转是件困难的事情，目前缺乏专门反转硅锭的装置。

发明内容

本实用新型提供硅锭反转装置，对硅锭进行180°旋转，将底面反转成上面，解决上述技术问题。

具体技术方案是，硅锭反转装置，包括：用于夹持硅锭的夹具、控制夹具动作的调整部件及用于喷砂打磨的工作台；调整部件通过气缸控制夹具、硅锭、滑块及齿轮的上下运动，在齿区，齿轮发生旋转，带动夹具及硅锭反转，上挡板和下挡板通过改变导向柱的行进轨迹实现齿轮的路径转换，反转之后的夹具及硅锭直接回落至工作台上，完成底面的反转。

夹具穿过变径导向块的夹具通孔与置于U型部中的齿轮连接，变径导向块的块体安装在滑块的外接块的安装区中，块体上的导向柱自外接块上的导向槽穿出；U型部使齿轮可以与导向柱一起左右移动；

滑块的内嵌块嵌入支撑工作台的支柱中的内嵌区，内嵌区与气缸的伸缩杆固定连接；

位于支柱右侧的多径件有第一径区和第二径区，齿轮运行的路径在第一径区和第二径区上，紧邻支柱的第一径区的中部设有与齿轮啮合的带轮齿的齿区，齿区的长度等于齿轮周长的一半，齿轮转动半圈，夹具及硅锭进行180°反转；齿区的高度高于第一径区和第二径区其他区域的高度；第一径区和第二径区其他区域面与齿轮相切或相离，齿轮在除齿区之外的地方不发生转动。

在支柱外侧安装改变齿轮运行路径的上挡板和下挡板，上挡板位于内嵌区上端，下挡板位于于内嵌区下端，上挡板的上扩口与下挡板的下扩口上下对应。

进一步，内嵌区中有凸起和V型槽，内嵌块上有凹槽和V型体，凸起与凹槽相对应配合，V型槽和V型体相对应配合。凸起与凹槽的作用是内嵌块牢固嵌在内嵌区中，不会脱出；V型槽和V型体的作用是便于滑块沿着内嵌区滑动，减小滑动阻力。

进一步，上挡板右侧有上窄区和上直部，左侧有上斜部，上直部与上斜部在下方形成上扩口；下挡板左侧有下窄区和下直部，右侧有下斜部，下直部和下斜部在上方形成下扩口。导向柱行至上挡板处，在上斜部引导下，导向柱运行轨迹向右偏移，至上窄区时，齿轮恰好由第一径区移动至第二径区；导向柱行至下挡板处，在下斜部的引导下，导向柱运行轨迹向左偏移，至下窄区时，齿轮恰好由第二径区移动至第一径区中。

进一步，支柱底部有底座，上方有盖板；支柱中间处向外凸出支撑工作台；工作台与支柱一体，结构固定，在使用时，只需调整夹具的位置就可以了。