[实用新型]一种键合丝台式退火炉

说明书

本实用新型公开了一种键合丝台式退火炉，涉及退火炉技术领域，包括退火炉机体和底座，退火炉机体的一侧设有封闭门，退火炉机体的端部安装有鼓风机，鼓风机的一侧连通有进风管，进风管的对侧具有排风管，排风管的内部设有净化芯，且进风管和排风管均与退火炉机体连通，退火炉机体的侧面设有电热装置，底座设置于退火炉机体的底部，底座包括底端出焰结构和侧出焰结构，具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体讲是一种键合丝台式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，键合金丝是集成电路中用作连接线的金合金丝，又称球焊金丝或引线金丝，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，然而经分析发现，现有的退火炉在开火初期升温较慢，导致燃气消耗比较多的问题。

实用新型内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种键合丝台式退火炉，具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点。

本实用新型是这样实现的，构造一种键合丝台式退火炉，包括退火炉机体和底座，退火炉机体的一侧设有封闭门，退火炉机体的端部安装有鼓风机，鼓风机的一侧连通有进风管，进风管的对侧具有排风管，排风管的内部设有净化芯，且进风管和排风管均与退火炉机体连通，退火炉机体的侧面设有电热装置，底座设置于退火炉机体的底部，底座包括底端出焰结构和侧出焰结构，底端出焰结构由第二进气管、第二连接管、底端排管和底端出焰管构成，第二进气管设置于第二连接管的外侧面，底端排管具有多个，分别平行排布于第二连接管的内侧面，底端出焰管竖立设置于底端排管的顶部，且底端出焰管与底端排管连通，底端排管和第二进气管均与第二连接管连通，侧出焰结构设置于底端出焰结构顶端，侧出焰结构由第一进气管、第一连接管、侧排管和侧出焰管构成，第一进气管设置于第一连接管的外侧面，侧排管具有两个，分别对称排布于第一连接管的端部，侧出焰管设置于底端排管的内侧面，侧出焰管的一侧安装有点火器，且侧出焰管与侧排管连通，侧排管和第一进气管均与第一连接管连通。

进一步的，电热装置的内侧面设有铜盘管，铜盘管与电热装置贴合固定，且铜盘管嵌入于退火炉机体的内部，在进料准备前首先使用电热装置加热退火炉机体内部的铜盘管，通过铜盘管导热进行退火炉机体内部的预热，其中电热装置广泛选用碳纤维电热丝、普遍电热丝、电热膜或电热布等电发热体，将物料置于退火炉机体内部后关闭封闭门和电热装置，从第一进气管和第二进气管通入燃气，同时打开鼓风机和点火器，使用鼓风机朝退火炉机体内部鼓入空气帮助燃烧，点火器点燃从第一进气管经过侧排管并从侧出焰管排出的燃气进行燃烧横向喷出火焰，同时通过侧出焰管喷出的火焰点燃从第二进气管经过底端排管并从底端出焰管排出的燃气，竖直方向喷出火焰，将物料进行键合丝加热，产生的烟气从排风管排出，将电热与燃气结合，在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且在在换料间隔期间使用电热装置进行保温，避免热量流失。

进一步的，净化芯包括活性炭层、第一HEPA高效过滤网和第二HEPA高效过滤网，第一HEPA高效过滤网和第二HEPA高效过滤网分别设置于活性炭层侧面的两端，通过设置的净化芯进行排放气的净化，第一HEPA高效过滤网首先进行烟气粉尘过滤，随后经过活性炭层进行杂质吸附，最后再次通过第二HEPA高效过滤网过滤后排放，能够避免污染产生。

进一步的，底座的底板设有防滑垫，防滑垫上分布有均匀的防滑纹，通过设置的防滑垫进行装置放置时的防滑。