[实用新型]一种位移台分辨率和精度检测装置有效
| 申请号： | 201920935980.2 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210004952U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李胜斌;陈琳;李和平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地球化学研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01M13/00 |
| 代理公司： | 52100 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人： | 商小川 |
| 地址： | 550081 贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分辨率板 安装支架 位移台 显微镜 本实用新型 分辨率 升降台 精度检测装置 激光干涉仪 测量原理 测量装置 检测装置 角度位移 精度检测 商品购买 十字叉丝 平移台 旋转台 目镜 物镜 普及率 对准 聚焦 检测 维护 | ||
【权利要求书】：
1.一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：包括方形的分辨率板（1）、90度安装支架（2）和显微镜（3），分辨率板（1）上设置有纵向和横向的刻度（5），分辨率板（1）固定连接在基座（6）上，基座（6）固定连接在90度安装支架（2）的竖直平面内，90度安装支架（2）的水平面固定连接在位移台（4）上，显微镜（3）具有物镜（7）、目镜（8）和45°平面反射镜（9），物镜（7）、目镜（8）和45°平面反射镜（9）分别安装在镜座（10）上拐角通孔（11）内的水平端部、竖直端部和拐角处，物镜（7）聚焦后能够对准分辨率板（1）上的刻度（5），目镜（8）上设置有十字叉丝，刻度（5）的精度大于位移台（4）精度。
2.根据权利要求1所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：分辨率板（1）通过压紧框（12）压接在基座（6）上。
3.根据权利要求1所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：90度安装支架（2）背面设置有加强筋板（16）。
4.根据权利要求1所述的一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：90度安装支架（2）的水平面设置有连接位移台（4）的条形通孔15。
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