[实用新型]一种物理气相沉积样品加热装置有效
| 申请号： | 201920937148.6 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210367896U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 高炬;赵蒙 | 申请（专利权）人： | 高炬 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/08 |
| 代理公司： | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人： | 张佩璇 |
| 地址： | 中国香港半山区般*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 样品 加热 装置 | ||
1.一种物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构，所述加热元件为碳化硅加热板，所述加热元件包括碳化硅板、设置在碳化硅板内的加热电阻丝和与电阻丝相连的陶瓷接线端，所述载样机构分布在碳化硅加热板的一侧面或两侧面。
2.根据权利要求1所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述载样机构挂设或套设在碳化硅板上。
3.根据权利要求2所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述载样机构横截面呈口字型、U型或L型。
4.根据权利要求1所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述载样机构包括与碳化硅板表面平行的载样板，载样板一面临近碳化硅板，另一面可加载样品。
5.根据权利要求4所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述碳化硅板与载样板之间的间隙应在0.5cm以下。
6.根据权利要求1所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述载样机构的材料为不锈钢316或高温合金，样品基片通过高温银胶粘接在金属载样机构表面。
7.根据权利要求1所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，还包括热辐射屏蔽罩，所述加热元件和载样机构位于热辐射屏蔽罩内，所述热辐射屏蔽罩与样品相对应位置设有靶向窗。
8.根据权利要求7所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述热辐射屏蔽罩包括两层以上，相邻两层间的间距为0.1cm-1.0cm。
9.根据权利要求7所述物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，所述热辐射屏蔽罩的材料为不锈钢316或高温合金。
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