[实用新型]检测管理系统有效

专利信息
申请号: 201920937425.3 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN210268715U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 刘锦坤;杨宗龙 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 检测 管理 系统
【权利要求书】:

1.一种检测管理系统,其特征在于,包括:

待检测的载具,所述载具具有腔室,且所述腔室内适于具有预设气体状态;

集成于所述载具上的检测获取模块,所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数,并获取检测数据;

与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块,所述数据收集模块控制所述腔室内具有所述预设气体状态,并收集所述检测数据。

2.如权利要求1所述的检测管理系统,其特征在于,所述检测获取模块包括:检测单元,获取所述检测数据;与所述检测单元相连的数据存储单元,存储所述检测数据,且所述数据收集控制模块收集所述数据存储单元存储的所述检测数据。

3.如权利要求2所述的检测管理系统,其特征在于,所述载具还包括:资料连接部件,连接所述数据存储单元与所述数据收集控制模块。

4.如权利要求2所述的检测管理系统,其特征在于,所述检测获取模块还包括:供电单元,与所述检测单元或者所述数据存储单元相连。

5.如权利要求4所述的检测管理系统,其特征在于,所述数据收集控制模块包括:充电单元,与所述供电单元相连,并对所述供电单元进行充电。

6.如权利要求5所述的检测管理系统,其特征在于,所述载具还包括:充电连接部件,连接所述充电单元与所述供电单元。

7.如权利要求1所述的检测管理系统,其特征在于,所述检测获取模块包括:检测单元,与所述数据收集控制模块直接相连。

8.如权利要求2或7所述的检测管理系统,其特征在于,所述检测单元包括至少一个传感器。

9.如权利要求1所述的检测管理系统,其特征在于,所述数据收集控制模块包括:气体引入单元,提供所述预设气体;数据收集单元,与所述检测获取模块相连,并收集所述检测数据;控制单元,与所述气体引入单元以及所述数据收集单元相连。

10.如权利要求9所述的检测管理系统,其特征在于,所述数据收集控制模块还包括:承载部件,用于承载所述载具;设置在所述承载部件上的第一气体进出口,所述第一气体进出口与所述气体引入单元相连通;所述载具包括:与所述腔室相连通的第二气体进出口,经由所述第一气体进出口与所述气体引入单元相连通。

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