[实用新型]一种镜片镀膜治具有效

专利信息
申请号: 201920938199.0 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN210765493U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 韦传冬 申请(专利权)人: 瑞声光学解决方案私人有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 代理人: 刘伟
地址: 新加坡卡文迪*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 镜片 镀膜
【说明书】:

本实用新型涉及镜片镀膜技术领域,公开了一种镜片镀膜治具,包括治具上板和与治具上板相对设置且共同夹持待镀膜镜片的治具下板,治具上板设置有多个第一镜片收容孔,治具下板设置有与各第一镜片收容孔对应的第二镜片收容孔,治具上板上设有环绕第一镜片收容孔的凹陷部,凹陷部与第一镜片收容孔连通,治具下板与凹陷部对应的位置上设有凸起部,凸起部用于在治具上板和治具下板贴合时嵌入凹陷部内,并与待镀膜镜片非成像区域的物侧面或像侧面抵接,待镀膜镜片与围成第一镜片收容孔的内壁贴合,凸起部在治具上板上的投影至少部分位于第一镜片收容孔内。本实用新型提供的镜片镀膜治具能够避免镜片在镀膜制程中散料。

技术领域

本实用新型涉及镜片镀膜技术领域,特别涉及一种镜片镀膜治具。

背景技术

镀膜制程在工业界的应用极广,一般常使用在金属加工业、半导体业以及光电产业等。近几年来,由于半导体业及光电产业的迅速发展,使得镀膜技术得到了重大的进展。其中镀膜治具主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。光电产业镀膜是指以物理或者化学方法在光学原件表面镀上单层或者多层薄膜,利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射以及折射等效果。现有技术的镜片镀膜治具在治具上板与治具下板上开孔,在镜片镀膜的过程中,将待镀膜的镜片完全放置于治具上板的镜片收容孔内,再将治具下板与治具上板贴合固定,最后对待镀膜镜片镀膜。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题:镜片镀膜过程中治具上板与治具下板容易变形,单靠的镜片收容孔结构无法对镜片起到很好的固定作用,放置于多个镜片收容孔内的多个镜片会因治具上板与治具下板的变形而无法被牢稳固定,导致散料。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镜片镀膜治具,使其能够避免在镜片镀膜过程中镜片散料。

为解决上述技术问题,本实用新型的实施方式提供了一种镜片镀膜治具,包括治具上板和与所述治具上板相对设置且共同夹持待镀膜镜片的治具下板,所述治具上板设置有多个第一镜片收容孔,所述治具下板设置有与各所述第一镜片收容孔对应的第二镜片收容孔,所述治具上板上设有环绕所述第一镜片收容孔的凹陷部,所述凹陷部与所述第一镜片收容孔连通,所述治具下板与所述凹陷部对应的位置上设有凸起部,所述凸起部用于在所述治具上板和所述治具下板贴合时嵌入所述凹陷部内,并与待镀膜镜片非成像区域的物侧面或像侧面抵接,所述待镀膜镜片与围成所述第一镜片收容孔的内壁贴合,所述凸起部在治具上板上的投影至少部分位于第一镜片收容孔内。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言,在治具上板上设有凹陷部,治具下板与凹陷部对应的位置上设有凸起部,凸起部与所述第二镜片收容孔间隔设置,在治具上板和治具下板贴合时,凸起部嵌入凹陷部内,并与待镀膜镜片非成像区域的物侧面或像侧面抵接,如此设置便可通过待镀膜镜片与凸起部的抵接作用和凸起部与凹陷部之间的嵌入固定作用,提高镜片镀膜治具与待镀膜镜片之间的稳定性,在治具上板和治具下板变形时,镜片仍被嵌入凹陷部内的凸起部抵接、不会由于失去收容孔的固定作用而发生散料现象,从而能够避免在镜片镀膜过程中镜片散料。

优选的,所述凸起部部分伸入所述第二镜片收容孔内。

优选的,所述第二镜片收容孔的孔径大于所述待镀膜镜片的孔径。

优选的,所述凹陷部的数量为多个,多个所述凹陷部环绕所述第一镜片收容孔等间隔设置;所述凸起部的数量为多个,多个所述凸起部环绕所述第二镜片收容孔等间隔设置,所述凹陷部与所述凸起部一一对应。多个凹陷部与凸起部的等间隔的设置使得待镀膜镜片的受力均匀,避免了待镀膜镜片在镀膜治具的工作过程中产生摇晃,提高了镀膜治具与待镀膜镜片之间的稳定性,同时等间隔设置的凹陷部与凸起部使得镀膜治具便于加工制作。

优选的,多个所述凹陷部分别连通相邻的所述第一镜片收容孔,多个所述凸起部分别设置在相邻的所述第二镜片收容孔之间。

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