[实用新型]多晶硅粉料回收装置

说明书

本实用新型公开了多晶硅粉料回收装置，涉及多晶硅加工技术领域。本实用新型包括：带有滤布输送带的滤出设备，带有链板输送带的输送机和多盘式烘干机；在滤布输送带的下方放置清洗槽，在出水管道上连接真空阀和通气阀；滤出设备通过输送机连接烘干机；烘干机内有带有耙的小盘和大盘，小盘和大盘间设有热风通道。有益技术效果：将多晶硅粉料滤出经过链板式输送机输送至烘干机中烘干，实现对清洗液中多晶硅粉料的回收；可以将第三箱中的水通入第二槽中利用，节约水资源；多盘式烘干机连续快速烘干，回收过程是连续的。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，特别涉及多晶硅粉料回收装置。

背景技术

硅片是电子产品制造中重要的原材料，由硅锭加工制成，硅锭由多晶硅料铸造而成的。目前，电子产品领域对硅片质量的要求越来越高，多晶硅料的纯度是提高硅片质量的重要基础条件。

在铸锭前需要对多晶硅料进行清洗以提高其纯度。清洗过程中，一些小颗粒状的硅料会随酸液流出，在大生产线上，硅料总的流失量不容忽视，需要设置一套回收装置对酸液中的小颗粒状的硅料进行回收。

发明内容

本实用新型提供多晶硅粉料回收装置，采用抽真空-水洗-抽真空方式将小颗粒状的硅料滤出，经过链板式输送机输送至多盘式烘干机中连续快速烘干，实现对酸液中的多晶硅粉料的回收。

具体技术方案是多晶硅粉料回收装置，包括：带有滤布输送带的滤出设备，带有链板输送带的输送机和多盘式烘干机；

滤布输送带依靠输送辊和张紧辊支撑，在滤布输送带的下方放置清洗槽，清洗槽上方连接进水管道，下方连接出水管道，在出水管道上连接真空阀和通气阀；

滤出设备通过输送机连接烘干机；

烘干机内有带有耙的小盘和大盘，小盘和大盘间设有热风通道，耙连接着电机，烘干机上方设进料口，底部设出料口。

烘干时，小盘和大盘固定不动，电机带着耙转动，对回收的多晶硅粉料分摊，利于烘干。热风通道内热风流速很慢，主要是提供烘干所需的温度。

进一步，在滤布输送带的下方自左向右依次放置第一槽、第二槽和第三槽；第一槽、第二槽和第三槽的下方对应放置收集水的第一箱、第二箱和第三箱；

第三槽的上方设置第三加水管道，第二加水管道由第三箱通向第二槽，抽水泵安装在第二加水管道上。

多晶硅粉料自左向右清洗，第三箱处水较第二箱处水干净，可以将第三箱中的水通入第二槽中利用，节约水资源。

进一步，在滤出设备的出口端靠近滤布输送带的位置设置刮刀。刮刀将滤布输送带上的多晶硅粉料全部刮到链板输送带上。

进一步，烘干机内小盘和大盘自上向下间隔布置，大盘中心位置处开有圆孔；小盘上的耙的耙齿向外侧倾斜，大盘上的耙的耙齿向内侧倾斜。

电机带着耙转动，小盘上耙将多晶硅粉料外旋分摊至小盘边缘并落到下边的大盘上，大盘上耙将多晶硅粉料内旋从大盘中心位置上的圆孔落到下方的小盘上。

进一步，烘干机上方设有通风口，便于维持烘干机内部气压稳定。

多晶硅料清洗后的酸液，直接加到滤布输送带上，先打开第一槽下方出水管道上的真空阀，滤布输送带会贴向第一槽，将所带酸液吸走，再关闭真空阀，打开通气阀，利用张紧辊将滤布输送带张紧输送，第二槽和第三槽上方加水，对多晶硅粉料进行清洗，依次打开第二槽和第三槽下方出水管道上的真空阀，将水吸走，再关闭真空阀，打开通气阀，利用张紧辊将滤布输送带张紧输送；清洗后的多晶硅粉料全部刮到链板输送带上输送至烘干机中，电机带着耙转动，小盘上的耙将多晶硅粉料外旋分摊至小盘边缘并落到下边的大盘上，大盘上的耙将多晶硅粉料内旋从大盘中心位置上的圆孔落到下方的小盘上，热风缓慢的流入热风通道提供烘干所需的热量；多盘式烘干机能够连续快速烘干。