[实用新型]具有改良型盖子的转子装置

说明书

本实用新型揭露一种具有改良型盖子的转子装置，适用于设置于涡轮分子式真空泵。具有改良型盖子的转子装置包含旋转轴、转子本体及盖子；旋转轴的一端设置于涡轮分子式真空泵；转子本体连结于旋转轴，且转子本体相对于旋转轴的一端内凹形成锁附空间；盖子包含连结单元及覆盖单元，连结单元的一端连结旋转轴的另一端，覆盖单元的一端连结此连结单元的另一端，且承靠于转子本体相对于旋转轴的一端，并覆盖锁附空间的开口，且覆盖单元的侧壁及另一端的表面为平滑曲面。

技术领域

本实用新型是有关于一种用于涡轮分子式真空泵的转子装置，特别是有关于一种具有改良型盖子的转子装置。

背景技术

目前现有技术的用于真空抽气的涡轮分子式真空泵，可驱动连结于其上的转子以进行真空抽气的制程，此外，转子中心将朝涡轮分子式真空泵的方向内凹形成锁附空间，以通过如螺栓等固定组件组合转子及涡轮分子式真空泵。然而，当涡轮分子式真空泵使用于晶圆或电子基板等蚀刻制程加工时，加工过程中所产生的粉尘颗粒容易积存于锁附空间，且转子于加工过程中所产生的气流容易使锁附空间中的粉尘颗粒随着气流飘回加工区域，故可能导致加工区域的晶圆或电子基板受到污染。

目前现有技术的用于涡轮分子式真空泵的转子额外通过螺栓将盖子锁附于锁附空间的上，以防止粉尘颗粒飘入锁附空间中，然而螺栓锁固后具有余隙空间而可能导致粉尘颗粒积存于其中，因此亦可能导致粉尘颗粒由余隙空间中飘回加工区域；另目前部分现有的盖子可通过螺纹配合而锁固于旋转轴，然而其拆卸时需通过治具连结盖子上的凹陷结构，再通过扳动组件连结治具并对其施力以间接带动盖子旋出旋转轴，此过程容易因施力角度或力道不当进而使凹陷结构产生损坏而导致用户需经常更换盖子；此外，凹陷结构亦可能积存粉尘或制程生成物，且凹陷结构将扰乱流经盖子的气流，故更容易使粉尘颗粒飘回加工区域进而导致晶圆或电子基板受到污染。

综合上述问题，本实用新型的发明人设计了一种具有改良型盖子的转子装置，以针对现有技术的缺失加以改善，进而增进产业上的实施利用。

实用新型内容

根据上述现有技术的问题，本实用新型的目的提供一种具有改良型盖子的转子装置，适用于设置于涡轮分子式真空泵。具有改良型盖子的转子装置包含旋转轴、转子本体及盖子；旋转轴的一端设置于涡轮分子式真空泵；转子本体连结于旋转轴，且转子本体相对于旋转轴的一端内凹形成锁附空间；盖子包含连结单元及覆盖单元，连结单元的一端连结旋转轴的另一端，覆盖单元的一端连结此连结单元的另一端，且承靠于转子本体相对于旋转轴的一端，并覆盖锁附空间的开口，且覆盖单元的侧壁及另一端的表面为平滑曲面。

优选地，覆盖单元的一端可朝对应于连结单元的方向延伸形成环形凸肋，环形凸肋系贴合锁附空间的侧壁。

优选地，覆盖单元可包含承靠部，承靠部位于覆盖单元的一端，且位于覆盖单元的侧壁与环形凸肋的间，承靠部承靠于转子本体相对于旋转轴的一端。

优选地，覆盖单元的一端可内凹形成第一盲孔，第一盲孔的侧壁包含第一内螺纹，连结单元的另一端的外表面系包含第一外螺纹，第一外螺纹与第一内螺纹相互螺合，覆盖单元固定于连结单元。

优选地，旋转轴的另一端可内凹形成第二盲孔，第二盲孔的侧壁包含第二内螺纹，连结单元的一端的外表面包含第二外螺纹，第二外螺纹与第二内螺纹相互螺合，连结单元固定于旋转轴。

优选地，覆盖单元的另一端可为圆锥形，覆盖单元的另一端的中心朝相对于连结单元的方向延伸凸起。

优选地，具有改良型盖子的转子装置可还包含多个固定组件，多个固定组件组合转子本体及旋转轴，多个固定组件的一端位于锁附空间，多个固定组件的另一端位于旋转轴的中，且多个固定组件以环型数组而邻近地设置于旋转轴周围。

优选地，连结单元可为不锈钢连结单元，覆盖单元为铝合金覆盖单元。