[实用新型]芯片表面清洁检测机构

权利要求书

1.芯片表面清洁检测机构，包括机架（1）、装设于机架（1）的清洁模组（2）和视觉检测模组（3），其特征在于：所述清洁模组（2）包括清洁机械手（21）、驱动清洁机械手（21）上下运动的第一驱动装置（22）、安装底座（23）、装设于安装底座（23）的洁具安装台（4）和驱动安装底座（23）靠近或远离清洁机械手（21）的第二驱动装置（24），所述视觉检测模组（3）包括固定连接机架（1）的承载板（31）、第一视觉检测装置（32）和第二视觉检测装置（33），其中承载板（31）位于清洁机械手（21）的上方，第一视觉检测装置（32）穿接承载板（31）向下延伸，第二视觉检测装置（33）连接第一视觉检测装置（32）的末端，所述承载板（31）上侧面装设有第三视觉检测装置（34）以及环形布设于承载板（31）的若干个光照组件（5）。

2.根据权利要求1所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述承载板（31）的上侧面设置有第一参数刻度（36），所述光照组件（5）包括固定板（51）、装设于固定板（51）的指向块（52）和固定杆（53），其中固定板（51）为可拆卸连接承载板（31），指向块（52）对应第一参数刻度（36）设置，所述固定杆（53）滑动连接有安装架（54）和装设于安装架（54）的光照灯（55），该固定杆（53）的侧面设置有第二参数刻度（56）。

3.根据权利要求1所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述洁具安装台（4）环形布设有若干个卡接槽（41），安装底座（23）装设有驱动洁具安装台（4）转动的第三驱动装置（42）。

4.根据权利要求3所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述洁具安装台（4）设置有第一卡接层（43）和第二卡接层（44），若干个卡接槽（41）分别环形布设于第一卡接层（43）和第二卡接层（44）的外沿处。

5.根据权利要求4所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：若干个卡接槽（41）均从第一卡接层（43）和第二卡接层（44）的侧壁向内延伸设置，且第一卡接层（43）的卡接槽（41）和第二卡接层（44）的卡接槽（41）均一一对应设置。

6.根据权利要求1所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述承载板（31）贯穿设置有导通孔（35），第三视觉检测装置（34）与导通孔（35）对齐设置，所述机架（1）固定有视觉折射装置（11）和环形光源（12），该视觉折射装置（11）位于导通孔（35）的正下方，环形光源（12）位于第一视觉检测装置（32）的正下方。

7.根据权利要求1所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述清洁机械手（21）包括第一夹爪（25）、第二夹爪（26）和驱动第一夹爪（25）和第二夹爪（26）相互靠近或远离的第四驱动装置（27）。

8.根据权利要求1所述的芯片表面清洁检测机构，其特征在于：所述机架（1）固定有安装板（13），所述清洁机械手（21）、第一驱动装置（22）、安装底座（23）和第二驱动装置（24）均装设于安装板（13）。