[实用新型]一种引线框架清洗装置

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种引线框架清洗装置，包括机体和清洗槽，清洗槽设置在机体内部，机体相对两侧设有开口，机体内在清洗槽的上方设有穿过机体相对两侧开口的多维度运动机构，多维度运动机构下方设有引线框架固定板，引线框架固定板活动固定在多维度运动机构下部；机体内壁沿多维度运动机构方向在清洗槽的相对两侧上方设有风机。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体是指一种引线框架清洗装置。

背景技术

键合材料为铜的引线框架，其铜的氧化物与其他一些污染物造成模塑料与铜引线框架分层，降低引线框架的可靠性，进而影响到芯片粘结和引线键合的质量。因此保持引线框架洁净是可靠封装的重要一步。

但是，现有的引线框架清洗在清洗前后都未用风机对引线框架表面进行清洁，前者可以吹落覆着在引线框架表面的灰尘，有利于减小对电解液更换的次数。后者可以快速风干引线框架表面的电解液，并在风干后快速对引线框架进行封装，防止引线框架表面覆有灰尘。因此我们迫切需要一种能够在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁的清洗装置。

实用新型内容

基于以上问题，本实用新型提供了一种引线框架清洗装置。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。

为解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种引线框架清洗装置，包括机体和清洗槽，清洗槽设置在机体内部，机体相对两侧设有开口，机体内在清洗槽的上方设有穿过机体相对两侧开口的多维度运动机构，多维度运动机构下方设有引线框架固定板，引线框架固定板活动固定在多维度运动机构下部；机体内壁沿多维度运动机构方向在清洗槽的相对两侧上方设有风机。

在本实用新型中，将引线框架固定在引线框架固定板上，再将引线框架固定板固定在多维度运动机构上，通过多维度运动机构将引线框架固定板移动到机体内的第一个风机下方，启动风机，将引线框架上的灰尘吹落，减轻引线框架上的灰尘对电解液的影响。当引线框架经过风机实现第一次清理后，通过多维度运动机构将引线框架固定板移动到清洗槽上方，再通过多维度运动机构将引线框架下降到清洗槽内，当引线框架在清洗槽内清洗完后，再将引线框架固定板用多维度运动机构吊起并移动引线框架固定板，使引线框架固定板移动到第二个风机下方，即可实现用风机将引线框架上的电解液风干，再用多维度运动机构将引线框架固定板移动到机体外部，从而将引线框架清洗干净，实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁的目的。本实用新型可实现在引线框架清洗前后对引线框架进行清洁目的，用风机在引线框架清洗前进行清洁，避免引线框架上的灰尘污染电解液。用风机对在引线框架清洗后进行清洁，避免了因需引线框架上的电解液而造成二次污染，可更为有效对引线框架清洁。

作为一种优选的方式，多维度运动机构包括横向固定杆，横向固定杆固定在机体内壁的相对两侧，相邻横向固定杆之间设有横向活动杆，横向活动杆能够在横向固定杆上运动；横向活动杆下部设有相对的竖向固定杆，竖向固定杆之间设有竖向活动杆，竖向活动杆能够在相对两竖向固定杆之间运动，竖向活动杆底部设有挂钩。

作为一种优选的方式，横向活动杆和机体内一侧横向固定杆接触设有嵌在横向活动杆内的第一伺服电机，第一伺服电机的输出轴上设有第一主动齿轮，横向固定杆侧壁和第一主动齿轮接触部分设有第一齿条；横向活动杆卡在另一侧横向固定杆内并可在横向固定杆上滑行。