[实用新型]一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置有效
申请号: | 201920953193.0 | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN210092031U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 朱亮;卢嘉彬;周锋;刘文涛;钟莉敏;刘小琴;高红刚;郑猛;曹建伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/463 | 分类号: | H01L21/463;H01L21/67 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 陶瓷 盘贴片 冷却 装置 | ||
1.一种用于陶瓷盘贴片的冷却装置,其特征在于,包括冷却组件和移动组件;
所述冷却组件包括水冷底盘、升降气缸、导向轴和底板;
所述水冷底盘呈环形迷宫状,在开始端和结束端分别有一个圆形开口,用于进水和排水;水冷底盘上部与水冷盖板相连,下部与防护罩相连,水冷盖板上端面贴设有导热硅橡胶;
所述防护罩底部连接冷却盘安装板,冷却盘安装板下端面通过冷却盘支柱与底板相连,底板外缘通过轴承连接竖向的导向轴;导向轴底端连接升降板,升降气缸设于升降板下方,气缸伸缩杆穿过升降板,端部与底板相连;
所述移动组件包括支撑架、直线导轨、手臂杆、电动机和丝杆;
所述直线导轨有两根,平行安装在底座上;底座上安装电动机,电动机通过联轴器和丝杆相连,丝杆平行于直线导轨;所述支撑架有多个,通过滑块安装在直线导轨上,两两支撑架之间通过连接杆相连;支撑架侧部连接水平的手臂杆,手臂杆前端安装挂板;
所述冷却组件有多个,结构相同,沿移动组件方向呈一列分布并设于挂板旁侧;所述丝杆与最末端的支撑架通过丝杠螺母相连。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述升降气缸上安装浮动接头和定位块。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述导向轴与底板间通过法兰型直线轴承连接。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述冷却盘安装板上安装有光电传感器支架和反射板支架,其上分别安装有光电传感器和反射板。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述底座上安装限位开关,限位开关安装在直线导轨首末位置,配合的限位开关挡板安装在第一个和最后一个支撑架上。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述底座四周设有防护板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造