[实用新型]一种平衡热场的区熔线圈有效

专利信息
申请号: 201920954908.4 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN210341121U 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 刘琨;郝大维;楚占宾;陈玉桥;王克旭;代常雷;万静;王遵义;王聚安 申请(专利权)人: 天津中环领先材料技术有限公司
主分类号: C30B13/20 分类号: C30B13/20;H05B6/36;H05B6/42
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 王耀云
地址: 300384 天津市滨海新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 平衡 线圈
【说明书】:

实用新型提供了一种平衡热场的区熔线圈,包括线圈本体,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部。本实用新型有益效果:在原有热场线圈结构的基础上,改变其内部循环水路走向,加大热场线圈循环水流量,在后期加工使用过程中能够根据水路走向改变线圈锯口位置,同时改变热场结构形状;通过改变线圈台阶结构,增加热场化料能力,达到拉晶过程中的热场稳定及线圈水温可控。

技术领域

本实用新型属于区熔线圈技术领域,尤其是涉及一种平衡热场的区熔线圈。

背景技术

区熔悬浮法拉晶过程中,作为热场的核心备件,线圈是区熔单晶生长的重要组成部分,其作用是在单晶生长过程中为其提供稳定的热场,针对成晶的重要性不言而喻。但随着使用时间的增加,现有的区熔线圈结构如图1所示,在其反复的升温降温的循环后,热场线圈各部分会有明显的不可修复形变,其所产生的热场变得不稳定,影响成晶。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型旨在提出一种平衡热场的区熔线圈,以解决上述问题的不足之处。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种平衡热场的区熔线圈,包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别连接进水口和出水口。

进一步的,所述弯折部的内侧均朝向线圈中心孔位置。

进一步的,所述弯折部数量为四个。

进一步的,所述线圈水路上的四个弯折部的对角连接线相交形成X型。

进一步的,所述线圈本体为铜材质。

进一步的,所述线圈本体上端设有两个连接块,所述连接块上对应进水口和出水口的位置处设有两个分别与进水口和出水口连通的通孔,且每个所述连接块上还设有多个螺栓孔。

相对于现有技术,本实用新型所述的平衡热场的区熔线圈具有以下优势:

本实用新型所述的平衡热场的区熔线圈在原有热场线圈结构的基础上,改变其内部循环水路走向,加大热场线圈循环水流量,在后期加工使用过程中,能够根据水路走向改变线圈锯口位置,比如对于改进后的线圈,后期加工使用时需要沿弯折部的中间位置径向向外锯口,同时改变了热场结构形状;通过改变线圈台阶结构,增加热场化料能力,达到拉晶过程中的热场稳定及线圈水温可控;该结构有效延长了线圈的使用寿命。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:

图1为现有的区熔线圈结构示意图;

图2为本实用新型实施例所述的平衡热场的区熔线圈结构示意图。

附图标记说明:

1-线圈本体;2-线圈水路;3-弯折部;4-环形槽;5-线圈中心孔;6-锥形槽。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

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