[实用新型]一种大工况范围的多主机离心透平真空泵系统

权利要求书

1.一种大工况范围的多主机离心透平真空泵系统，其特征在于：包括第一真空泵(7)、第二真空泵(8)和系统入口(9)；所述第一真空泵(7)上有第一真空泵入口(71)和第一真空泵出口(72)，所述第二真空泵(8)上有第二真空泵入口(81)和第二真空泵出口(82)；所述系统入口(9)分别连接第一阀门(1)和第二阀门(2)的一端；所述第一阀门(1)的另一端分别连接第六阀门(6)的一端和所述第一真空泵入口(71)，所述第六阀门(6)的另一端连接所述第二真空泵出口(82)，所述第二真空泵出口(82)连接第四阀门(4)的一端；所述第二阀门(2)的另一端分别连接第五阀门(5)的一端和所述第二真空泵入口(81)，所述第五阀门(5)的另一端连接所述第一真空泵出口(72)，所述第一真空泵出口(72)连接第三阀门(3)的一端；所述第三阀门(3)和所述第四阀门(4)的另一端均连接系统出口(10)。

2.根据权利要求1所述的一种大工况范围的多主机离心透平真空泵系统，其特征在于：所述第一真空泵(7)和所述第二真空泵(8)均为单级离心透平真空泵。